[发明专利]一种半导体厂房新风系统

权利要求书

1.一种半导体厂房新风系统，其特征在于，包括装载在机房(1)顶部的新风系统和底部的湿度调节装置；

所述新风系统包括进风风阀(2)驱动的进风口、风机(3)驱动的出风口和排风风阀(4)驱动的回风口，所述进风口的一端连接室外，另一端通往过滤单元，所述出风口通过排气管连接来自过滤单元的新风并通过风机(3)输送至机房(1)内，所述回风口将机房(1)内的空气通过排风风阀(4)输出至室外；

所述风机(3)安装在机房(1)的顶部，且风机(3)靠近机房(1)的一侧安装有过滤窗(5)，所述过滤窗(5)上排布有过滤网。

2.根据权利要求1所述的半导体厂房新风系统，其特征在于：所述过滤单元内随新风输入方向依次设置有初效过滤器(6)、中高效过滤器(7)、氯气过滤器(8)和化学过滤器(9)，所述过滤单元顶部安装有紫外线杀菌灯(10)。

3.根据权利要求2所述的半导体厂房新风系统，其特征在于：所述回风口靠近机房(1)的一侧安装有过滤网。

4.根据权利要求3所述的半导体厂房新风系统，其特征在于：所述风机(3)在机房(1)的顶部等间距设置有多个，对应的所述过滤窗(5)也设置有多个。

5.根据权利要求4所述的半导体厂房新风系统，其特征在于：所述湿度调节装置采用加湿机(11)和除湿机(12)，所述加湿机(11)的进水管连接至水源，所述除湿机(12)的排水管直接通网外部水槽。

6.根据权利要求5所述的半导体厂房新风系统，其特征在于：所述风机(3)采用负压风机。

7.根据权利要求6所述的半导体厂房新风系统，其特征在于：所述回风口和出风口之间通过隔板隔开。