[发明专利]调节器组合件及测试方法

权利要求书

1.一种用于选定流体的流体供应容器的调节器组合件，其包括：

第一调节器，其具有设置到预定设置点的出口压力；及

第二调节器，其经配置以从所述第一调节器接收流体，

其中所述预定设置点是在所述调节器组合件使用测试流体操作时在通过所述第二调节器的流量中产生少于两个尖峰的出口压力，所述测试流体具有在所述选定流体的分子量的80％到110％之间的分子量。

2.根据权利要求1所述的调节器组合件，其中所述测试流体是两种或多于两种流体的混合物，且所述两种或多于两种流体中的每一者是气体。

3.根据权利要求1所述的调节器组合件，其中所述测试流体的所述分子量在所述选定流体的所述分子量的85％到95％之间。

4.根据权利要求1所述的调节器组合件，其中所述选定流体包含CF₄、CO、BF₃、SiF₄、AsH₃、PH₃及GeF₄中的一或多者。

5.根据权利要求4所述的调节器组合件，其中所述选定流体是进一步包含H₂的混合物。

6.一种流体供应容器，其包括根据权利要求1所述的调节器组合件，其中所述流体供应容器经配置以存储所述选定流体。

7.根据权利要求6所述的流体供应容器，其中所述选定流体包含CF₄、CO、BF₃、SiF₄、AsH₃、PH₃及GeF₄中的一或多者。

8.根据权利要求7所述的流体供应容器，其中所述选定流体是进一步包含H₂的混合物。

9.一种测试调节器的方法，其包括：

将测试流体引入到多个测试调节器组合件中，其中：

所述测试流体具有在由流体供应封装供应的选定流体的分子量的80％到110％之间的分子量，且

所述多个测试调节器组合件中的每一者包含第一调节器及第二调节器，所述多个测试调节器组合件中的每一者的所述第一调节器具有预定出口压力；

监测通过所述多个测试调节器组合件中的每一者的所述第二调节器的所述测试流体的流量；

确定通过所述多个测试调节器组合件中的每一者的所述第二调节器的所述监测流量的尖峰数目；及

组装用于所述流体供应封装的调节器组合件，所述调节器组合件包含从所述多个测试调节器组合件中的一者选择的在所述观测流量中展现少于两个尖峰的所述第一调节器及所述第二调节器。

10.根据权利要求9所述的方法，其中所述观测流量的第一尖峰是所述观测流量的压力尖峰。

11.根据权利要求9所述的方法，其中所述测试流体是两种或多于两种流体的混合物，且所述两种或多于两种流体中的每一者是气体。

12.根据权利要求9所述的方法，其中所述测试流体的所述分子量在所述选定流体的所述分子量的85％到95％之间。

13.根据权利要求9所述的方法，其进一步包括将所述供应封装调节器组合件安装到所述流体供应封装中。

14.根据权利要求9所述的方法，其中所述选定流体包含CF₄、CO、BF₃、SiF₄、AsH₃、PH₃及GeF₄中的一或多者。

15.根据权利要求14所述的方法，其中所述选定流体是进一步包含H₂的混合物。