[发明专利]一种共形辐射层的制备方法有效

专利信息
申请号: 202110472901.0 申请日: 2021-04-29
公开(公告)号: CN113278972B 公开(公告)日: 2022-02-01
发明(设计)人: 刘镜波;王天石;张怡;张义萍;何国华;付银辉;但敏;杨显涛 申请(专利权)人: 中国电子科技集团公司第二十九研究所
主分类号: C23C28/02 分类号: C23C28/02;C23C14/34;C23C14/20;C23C14/02;C25D3/38;C25D5/48
代理公司: 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214 代理人: 吕玲
地址: 610036 四川*** 国省代码: 四川;51
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摘要:
搜索关键词: 一种 辐射 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种共形辐射层的制备方法,其特征在于包括以下步骤:

(1)根据应用对象,制定待制造介质的三维结构及其表面的共形电路;

(2)对完成数控加工合格的介质进行前处理;

(3)在介质外表面溅射形成铜的薄膜,即种子层;

(4)将种子层进行酸性镀铜,将镀层增厚至10~20μm;该步骤中采用H2SO4,浓度为175~250g/L,光亮剂,浓度为0.2~0.8mL/L,溶液温度20~40℃,电流密度3~5A/dm2

(5)在步骤(4)的基础上,经过电镀/化学镀的方式分别形成镍、金镀层,即得半成品;

(6)通过精密数控铣的方式,除去不需要的镀层,即得成品;数控加工刀具为硬质合金球头刀,直径Φ0.5~1mm,刀具刃数2,主轴转速5200~7500r/min,进给量200~320mm/min,切深0.1~0.2mm,干加工。

2.如权利要求1所述共形辐射层的制备方法,其特征在于:步骤(1)中所述介质为工程塑料,工程塑料包括聚酰亚胺、聚醚醚酮。

3.如权利要求1所述共形辐射层的制备方法,其特征在于:步骤(2)所述的前处理包括依次进行除油、除污渍、表面活化和清洗操作;介质除油液采用质量浓度为2%~10%的NaOH溶液进行处理;除污渍采用有机溶剂进行处理;除油与除污渍时加入超声波,超声频率为25KHz,超声时间为5~10min;表面活化根据工程塑料类型,选择表面活化液进行处理;清洗采用去离子水冲洗5~10min。

4.如权利要求3所述共形辐射层的制备方法,其特征在于:所述除污渍的有机溶剂为乙醇、丙酮和丁酮中的任意一种或几种的组合物;所述的表面活化液包括5%~20wt%的NaOH、H2SO4或PI调整剂。

5.如权利要求1所述共形辐射层的制备方法,其特征在于:步骤(3)中,将介质放进复合离子镀膜机中,真空度2×10-3~9×10-3Pa,溅射功率150W~300W,溅射气压为0.1~0.8Pa,靶基距离10~50cm,溅射时间160~500min。

6.如权利要求1所述共形辐射层的制备方法,其特征在于:步骤(3)中得到表面为铜的薄膜,薄膜厚度为0.5~5μm。

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