[发明专利]化学机械研磨装置

权利要求书

1.一种化学机械研磨装置，其特征在于，包括：控制装置、研磨机台、供应装置和添加装置，所述供应装置包括用于承装研磨液的暂存桶、以及与所述暂存桶连接的测量装置，所述测量装置用于检测所述暂存桶内剩余研磨液的量；所述研磨机台与所述暂存桶连通；

所述添加装置包括储存装置以及驱动装置，所述驱动装置与所述储存装置和所述暂存桶连通，所述控制装置与所述驱动装置和所述测量装置连接；所述控制装置用于在预设时间时，根据所述暂存桶内剩余研磨液的量和预定规则控制所述驱动装置将所述储存装置内对应体积的添加试剂输送至所述暂存桶内，以使得所述暂存桶内的所述添加试剂浓度维持在设定值。

2.根据权利要求1所述的化学机械研磨装置，其特征在于，所述添加装置还包括车体，所述储存装置和所述驱动装置均设置在所述车体上。

3.根据权利要求2所述的化学机械研磨装置，其特征在于，所述车体的底部间隔的设置有多个滚轮，各所述滚轮与所述车体之间可转动的连接。

4.根据权利要求1所述的化学机械研磨装置，其特征在于，所述储存装置上设置有与其连通的添加管路，所述添加管路还用于与试剂源连通，用于向所述储存装置内注入所述添加试剂。

5.根据权利要求1所述的化学机械研磨装置，其特征在于，所述测量装置包括设置在所述暂存桶底部的承重装置，所述承重装置用于检测所述暂存桶的质量。

6.根据权利要求1所述的化学机械研磨装置，其特征在于，还包括计时装置和报警装置，所述计时装置与所述驱动装置和所述控制装置电连接，所述报警装置与所述控制装置电连接，所述计时装置用于采集所述驱动装置的工作时间，

所述控制装置还用于根据所述计时装置控制所述驱动装置启停；

当所述称重装置采集到暂存桶添加的所述添加试剂重量大于或者小于第一预设范围时，所述控制装置用于控制所述报警装置启动，所述控制装置还用于控制所述驱动装置停止工作；

当所述计时装置采集到所述驱动装置的工作时间大于或者小于第二预设范围时，所述控制装置用于控制所述报警装置启动，所述控制装置还用于控制所述驱动装置停止工作。

7.根据权利要求1-6任一项所述的化学机械研磨装置，其特征在于，所述供应装置和所述研磨机台均为多个，每一所述供应装置对应的所述暂存桶与一个所述研磨机台连通，各所述供应装置上的所述检测装置均与所述控制装置连接；所述驱动装置与每一所述供应装置对应的所述暂存桶之间通过一个开关装置连通，各所述开关装置均与所述控制装置连接。

8.根据权利要求1-6任一项所述的化学机械研磨装置，其特征在于，所述化学机械研磨装置还包括循环装置，所述供应装置包括第一输送装置，所述第一输送装置的进口与所述暂存桶连通，所述第一输送装置的出口与所述循环装置连通，所述循环装置的第一流出口与所述暂存桶连通，所述循环装置的第二流出口与所述研磨机台连通；

所述循环装置用于使研磨液在所述暂存桶和所述循环装置之间循环流动，并在所述研磨机台处于预设状态下向所述研磨机台输送研磨液。

9.根据权利要求1-6任一项所述的化学机械研磨装置，其特征在于，所述暂存桶内设置有第一搅拌装置，所述第一搅拌装置用于对所述暂存桶内的研磨液进行搅拌。

10.根据权利要求9所述的化学机械研磨装置，其特征在于，所述第一搅拌装置包括设置在所述暂存桶上的第一转动装置、以及位于所述暂存桶内的第一搅拌叶，所述第一搅拌叶与所述第一转动装置传动连接。

11.根据权利要求1-6任一项所述的化学机械研磨装置，其特征在于，所述化学机械研磨装置还包括原液桶、以及第二输送装置，所述第二输送装置的进口与所述原液桶连通，所述第二输送装置的出口与所述暂存桶连通，所述第二输送装置用于在第二状态时将所述原液桶内的研磨液输送至所述暂存桶；所述第二状态为所述暂存桶内缺少研磨液的状态。