[发明专利]一种阳极键合设备有效
申请号: | 202110429052.0 | 申请日: | 2021-04-21 |
公开(公告)号: | CN113113336B | 公开(公告)日: | 2022-06-14 |
发明(设计)人: | 郑志霞;何灏泽;黄赛琴 | 申请(专利权)人: | 莆田学院 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 北京权智天下知识产权代理事务所(普通合伙) 11638 | 代理人: | 徐小淇 |
地址: | 351100 福建*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 阳极 设备 | ||
1.一种阳极键合设备,包括底座(1)、支架(2)和侧板(3),其特征在于,所述底座(1)的上下两侧面分别固定连接有侧板(3)和支架(2),侧板(3)的正面设置有键合机构(4),所述键合机构(4)的前后两侧分别设置有夹持机构(5)和清尘机构(7),夹持机构(5)和清尘机构(7)的下表面均固定连接有安装板,所述夹持机构(5)包括第一固定块(51),第一固定块(51)的正面开设有两个上下对称的贯穿孔,第一固定块(51)的中部设置有电磁铁板(58),两个贯穿孔内均设置有支撑板(54),两个支撑板(54)分别贴合在两个贯穿孔内壁的相对面,支撑板(54)为磁性材质,所述支撑板(54)的一侧面通过两个连接杆(56)固定连接有第一连接板(53),第一连接板(53)位于贯穿孔内壁开设的凹槽(59)内,第一连接板(53)的一侧面固定连接有弧形板(52),弧形板(52)远离第一连接板(53)的一侧面为弧面,所述支撑板(54)的左右两侧面均固定连接有第一滑块(57),第一滑块(57)滑动连接在贯穿孔内壁开设的第一滑槽内,第一滑块(57)的一侧面通过第一弹簧(55)与第一滑槽的内壁固定连接;
所述清尘机构(7)包括第二固定块(76),第二固定块(76)的上下两侧面均开设有收纳槽,收纳槽内设置有矩形板(75),矩形板(75)内壁的左右两侧面均卡接有第二轴承,第二轴承内套设有第二转轴(73),第二转轴(73)的右端固定连接有转轮(78),第二固定块(76)上下两侧面对应第二转轴(73)的位置均开设有定位槽,第二转轴(73)位于定位槽内,所述转轮(78)的外表面固定连接有多个挡片(74),挡片(74)为弹性塑料材质,且多个挡片(74)呈环形排列并为倾斜设置,所述转轮(78)的后侧设置有V形板(77),V形板(77)固定连接在第二固定块(76)的一侧面;
安装板的下表面固定连接有第二滑块,第二滑块滑动连接在底座(1)上表面开设的第二滑槽内,两个安装板的左侧面与调节机构(6)的右侧面固定连接,调节机构(6)固定安装在底座(1)的上表面,所述调节机构(6)包括固定连接在底座(1)上表面前后两侧的第一轴承,第一轴承内套设有第一转轴(63),前侧第一转轴(63)正面的一端固定连接有转块(61),两个第一转轴(63)的相对端均固定连接有螺纹柱(62),两个螺纹柱(62)的相对端相互固定连接,两个螺纹柱(62)的螺纹方向互为相反,螺纹柱(62)的外表面螺纹连接有螺纹帽,螺纹帽的右侧面固定连接有安装板;
所述底座(1)内部开设有空腔,空腔内设置有加热机构(8),侧板(3)的背面设置有冷却机构(9)。
2.根据权利要求1所述的一种阳极键合设备,其特征在于,所述键合机构(4)包括卡接在顶板(41)上表面左右两侧的第一电动推杆(42),顶板(41)固定连接在侧板(3)的正面,所述第一电动推杆(42)的底端和底座(1)上表面均固定连接有电极片(43)。
3.根据权利要求1所述的一种阳极键合设备,其特征在于,所述加热机构(8)包括卡接在空腔内壁下表面的第三轴承,第三轴承内套设有第三转轴(86),第三转轴(86)的外表面卡接有齿轮(87),第三转轴(86)的顶端固定连接有转台(84),所述转台(84)上表面的前后两侧均开设有限位槽(85),限位槽(85)内设置有加热炉(82),加热炉(82)下表面的左右两侧均通过第二弹簧(83)与限位槽(85)内壁的下表面固定连接,所述加热炉(82)的左右两侧面均固定连接有电磁铁块(81),电磁铁块(81)的上侧设置有磁吸片,磁吸片固定连接在空腔内壁的下表面。
4.根据权利要求3所述的一种阳极键合设备,其特征在于,所述齿轮(87)的右侧设置有齿条(88),齿条(88)的正面通过滑杆(89)固定连接有第一拉块,滑杆(89)的外侧套设有滑套,滑套卡接在底座(1)的正面,所述滑杆(89)右侧面的前后两侧均开设有卡孔(810),所述底座(1)的正面固定连接有固定片(812),固定片(812)位于滑杆(89)的右侧,所述固定片(812)的右侧面卡接有插套,插套内设置有插杆(813),插杆(813)的右端固定连接有第二拉块,插杆(813)的外侧套设有第三弹簧(811),第三弹簧(811)的两端分别与滑套和第二拉块的相对面固定连接。
5.根据权利要求1所述的一种阳极键合设备,其特征在于,所述冷却机构(9)包括开设在侧板(3)背面的空槽(91),空槽(91)内设置有储水壳(92),储水壳(92)为金属材质,储水壳(92)的下表面贯穿至空腔内部,所述储水壳(92)的背面通过水囊(94)固定连接有第二连接板(95),储水壳(92)与水囊(94)相互连通,第二连接板(95)正面的左右两侧均通过第二电动推杆(93)固定连接在侧板(3)的正面。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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