[发明专利]载体摆动机构和处理设备在审
申请号: | 202110402756.9 | 申请日: | 2021-04-14 |
公开(公告)号: | CN113097110A | 公开(公告)日: | 2021-07-09 |
发明(设计)人: | 左国军;申斌;饶相松;成旭;李雄朋;陈雷;任金枝 | 申请(专利权)人: | 创微微电子(常州)有限公司;常州捷佳创精密机械有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;B08B3/10;B08B13/00 |
代理公司: | 北京友联知识产权代理事务所(普通合伙) 11343 | 代理人: | 尚志峰;汪海屏 |
地址: | 213133 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 载体 摆动 机构 处理 设备 | ||
1.一种载体摆动机构(100),其特征在于,包括:
摆动平台(112),所述摆动平台(112)的底部设有摆动轴(1121);
动力组件(130);
传动组件(120),所述传动组件(120)的两端分别连接所述动力组件(130)和所述摆动平台(112),
其中,所述动力组件(130)用于通过所述传动组件(120)带动所述摆动平台(112)绕所述摆动轴(1121)摆动。
2.根据权利要求1所述的载体摆动机构(100),其特征在于,所述传动组件(120)包括:
传动杆(121),所述传动杆(121)的两端分别连接所述动力组件(130)和所述摆动平台(112);
球头杆(122),所述球头杆(122)的一端形成有球头部(1221),所述球头杆(122)远离所述球头部(1221)的一端与所述传动杆(121)靠近所述摆动平台(112)的一端相连;
配合部(123),设于所述摆动平台(112)上,所述配合部(123)设有球窝(1231),所述球头部(1221)与所述球窝(1231)配合。
3.根据权利要求1所述的载体摆动机构(100),其特征在于,所述传动组件(120)还包括:
第一滑动组件(128),所述第一滑动组件(128)用于与壳组件(210)连接;
滑动板(127),所述滑动板(127)与传动杆(121)相连,并与所述第一滑动组件(128)相适配,所述滑动板(127)可相对所述第一滑动组件(128)滑动。
4.根据权利要求1所述的载体摆动机构(100),其特征在于,所述动力组件(130)包括:
驱动部(137),所述驱动部(137)连接于所述传动组件(120)远离所述摆动平台(112)的一端,用于驱动所述传动组件(120)带动摆动平台(112)摆动。
5.根据权利要求4所述的载体摆动机构(100),其特征在于,所述动力组件(130)还包括:
第二滑动组件(138),连接于传动组件(120);
驱动部(137)包括第一驱动部(1371)和第二驱动部(1372),所述第一驱动部(1371)用于带动传动组件(120)沿第一方向运动;所述第二驱动部(1372)用于带动传动组件(120)沿第二方向运动。
6.根据权利要求1至5所述的载体摆动机构(100),其特征在于,还包括:
至少一个摆动支撑部(111),所述摆动支撑部(111)设有摆动槽(1111),所述摆动轴(1121)与所述摆动槽(1111)相互配合。
7.根据权利要求1至5所述的载体摆动机构(100),其特征在于,还包括:
位置检测组件(140),包括:
磁性开关(141),设于所述动力组件(130)上;
原点位检测组件(142),设于所述动力组件(130)上。
8.一种处理设备(200),其特征在于,包括:
壳组件(210);
如权利要求1至7中任一项所述的载体摆动机构(100),所述载体摆动机构(100)与所述壳组件(210)相连。
9.根据权利要求8所述的处理设备(200),其特征在于,所述壳组件(210)内分为第一区域(220)和第二区域(230),所述载体摆动机构(100)中的所述摆动组件(110)设于所述第一区域(220),所述载体摆动机构(100)中的所述动力组件(130)设于所述第二区域(230)。
10.根据权利要求8或9所述的处理设备(200),其特征在于,还包括:
处理槽(240),设于所述壳组件(210)的底部,所述载体摆动机构(100)中的所述摆动平台(112)设于所述处理槽(240)内。
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