[发明专利]边缘环、载置台以及基板处理装置

权利要求书

1.一种边缘环,其配置于基板的周缘,该边缘环以如下方式形成:

以将上述边缘环的中心轴线上的一点设定为中心点的、上述边缘环的内径以上外径以下的直径的假想圆为基准,自上述假想圆上的多个点至上述边缘环的下表面的垂直方向的高度的最大值与最小值的差值的绝对值为预定的上限值以下。

2.根据权利要求1所述的边缘环,其中,

上述上限值为20μm。

3.根据权利要求1所述的边缘环,其中,

上述上限值为15μm。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的边缘环,其中,

上述边缘环的下表面以上述边缘环的外周部比内周部低的方式倾斜形成。

5.一种载置台,其具有用于载置配置于基板的周缘的边缘环的边缘环载置面,该载置台以如下方式形成:

以将上述载置台的中心轴线上的一点设定为中心点的、上述边缘环载置面的内径以上外径以下的直径的假想圆为基准,自上述假想圆上的多个点至上述边缘环载置面的垂直方向的高度的最大值与最小值的差值的绝对值为预定的上限值以下。

6.根据权利要求5所述的载置台,其中,

上述载置台具有用于将上述边缘环静电吸附于边缘环载置面的静电卡盘。

7.一种基板处理装置,其具有:

边缘环,其配置于基板的周缘；以及

载置台,其具有边缘环载置面,

该基板处理装置以如下方式形成:在上述边缘环载置面和上述边缘环的下表面中,以将上述边缘环或上述载置台的中心轴线上的一点为中心点的、上述边缘环的内径以上外径以下的直径的假想圆或上述边缘环载置面的内径以上外径以下的直径的假想圆为基准,通过上述假想圆上的多个点的各点的上述边缘环载置面与上述边缘环的下表面之间的间隙的高度的最大值与最小值的差值的绝对值为预定的上限值以下。