[发明专利]一种利用直流电弧等离子体批量制备微孔金刚石涂层拉丝模具的装置及方法

权利要求书

1.一种利用直流电弧等离子体批量制备微孔金刚石涂层拉丝模具的装置，包括真空室，其特征在于：所述真空室内设置有隔板，隔板将真空室分为上腔室和下腔室；上腔室顶部设置有进气孔，进气孔内设置有正极体和负极体，正极体接直流电源的正极、负极体接直流电源的负极；下腔室底部设置有出气通道，出气通道外侧设置有磁环；隔板中部设置有通孔，通孔上端放置有样品台，样品台均匀设置若干放置拉丝模具的模具孔；还包括旁路管，旁路管设置于真空室一侧、两端分别与上腔室和下腔室连通，旁路管中部安装有比例阀。

2.根据权利要求1所述的利用直流电弧等离子体批量制备微孔金刚石涂层拉丝模具的装置，其特征在于：所述通孔和样品台均为圆形；样品台外环侧设置有环形凸起；环形凸起的外径大于通孔的内径。

3.根据权利要求2所述的利用直流电弧等离子体批量制备微孔金刚石涂层拉丝模具的装置，其特征在于：所述模具孔的竖直截面为T形。

4.根据权利要求3所述的利用直流电弧等离子体批量制备微孔金刚石涂层拉丝模具的装置，其特征在于：所述样品台的模具孔的数量不少于50个。

5.一种如权利要求1-4任一项所述的利用直流电弧等离子体批量制备微孔金刚石涂层拉丝模具的方法，其特征在于：所述方法使用所述装置；所述方法将代加工的拉丝模具放置在样品台的模具孔内，将样品台放置到真空室内隔板的通孔上端；从进气孔通入气体，正极体接直流电源的正极、负极体接直流电源的负极，气体被分解为等离子体，喷射到样品台的拉丝模具上；比例阀控制上腔室和下腔室的压力差，上腔室压力大于下腔室的压力，等离子体穿过拉丝模具中孔流到下腔室，在拉丝模具中孔内壁制备出金刚石涂层；下腔室底部出气通道外侧的磁环吸引等离子体。

6.根据权利要求5所述的利用直流电弧等离子体批量制备微孔金刚石涂层拉丝模具的方法，其特征在于：所述样品台放置之后、通入气体之前先通入氩气和氢气的混合物。