[发明专利]一种自动晶圆传片器

权利要求书

1.一种自动晶圆传片器，其特征在于：包括设备箱体(1)和两组卡匣(2)，一组所述卡匣(2)内装有晶圆片，另一组卡匣(2)为空卡匣，所述设备箱体(1)顶部设置有两组卡匣定位结构(3)，且两组卡匣(2)分别通过卡匣定位结构(3)安装在设备箱体(1)顶部；

所述设备箱体(1)顶部设置有检测机构(4)，所述检测机构(4)用于检测装有晶圆片的卡匣(2)内晶圆片的朝向；

所述设备箱体(1)顶部设置有推料机构(5)，所述推料机构(5)用于将装有晶圆片的卡匣(2)内的晶圆片传送至另一组空卡匣(2)内。

2.根据权利要求1所述的一种自动晶圆传片器，其特征在于：所述卡匣定位结构(3)包括两组定位凸条(31)和两组限位块(32)，两组所述定位凸条(31)和两组限位块(32)均对称设置在设备箱体(1)顶部，且两组限位块(32)位于两组定位凸条(31)外侧并设有间隙，所述定位凸条(31)顶部开设有限位槽(33)。

3.根据权利要求2所述的一种自动晶圆传片器，其特征在于：所述卡匣(2)底部设置有与限位槽(33)相互配合的筋条(21)，所述卡匣(2)底部对称设置两组平边(22)，且两组平边(22)分别卡入到定位凸条(31)与限位块(32)之间的间隙内。

4.根据权利要求2所述的一种自动晶圆传片器，其特征在于：所述卡匣定位结构(3)还包括可伸缩的定位圆柱(34)，且定位圆柱(34)底部设置有压力传感器，所述定位圆柱(34)位于两组定位凸条(31)之间，且定位圆柱(34)与两组限位槽(33)位于同一直线上。

5.根据权利要求1所述的一种自动晶圆传片器，其特征在于：所述检测机构(4)包括红外发射器(41)和红外接收器(42)，所述设备箱体(1)顶部开设有安装槽，所述红外发射器(41)设置在安装槽内并位于卡匣(2)一端下方，所述红外接收器(42)位于红外发射器(41)正上方并位于卡匣(2)上方。

6.根据权利要求5所述的一种自动晶圆传片器，其特征在于：所述检测机构(4)还包括两组平行设置的安装柱(43)，两组所述安装柱(43)之间固接有安装块(44)，且安装块(44)安装有红外接收器(42)。

7.根据权利要求1所述的一种自动晶圆传片器，其特征在于：所述推料机构(5)包括驱动组件、连接杆(51)和L型推杆(52)，所述驱动组件设置在设备箱体(1)内部，所述连接杆(51)与驱动组件相连接，所述连接杆(51)远离驱动组件的一端连接有L型推杆(52)，且L型推杆(52)一端朝向卡匣(2)，所述L型推杆(52)朝向卡匣(2)的一端安装有橡胶柱(53)。

8.根据权利要求7所述的一种自动晶圆传片器，其特征在于：所述驱动组件上设置有阻力感应器。