[发明专利]实现平面MEMS反射镜的优化电流路径

权利要求书

1.一种用于激光雷达系统的反射镜组件，包括：

第一框架，由第一扭杆和第二扭杆支撑，能绕第一轴线旋转；和

第一导体，沿着第一框架延伸到第一轴线的一侧，第一导体在平行于第一轴线的方向上延伸通过在第一轴线的一侧上的第一磁场，其中通过第一导体的第一电流与第一磁场相互作用，以引起第一框架围绕第一轴线的第一旋转；

其中所述第一导体遵循一路径，所述路径通过所述第一扭杆、沿着远离所述第一轴线的第一臂、沿着平行于所述第一轴线的横杆、沿着第二臂朝向所述第一轴线并通过所述第二扭杆；

其中所述横杆通过所述第一磁场，且与所述横杆平行设置的第二横杆不通过磁场。

2.根据权利要求1所述的反射镜组件，还包括通过所述第一扭杆和所述第二扭杆支撑第一框架的第二框架，第二框架能绕第二轴线旋转。

3.根据权利要求2所述的反射镜组件，其中所述第二框架包括通过第二磁场到所述第二轴线的一侧的第二导体，其中在所述第二轴线的方向上通过所述第二导体的第二电流与所述第二磁场相互作用，以引起所述第二框架围绕所述第二轴线的第二旋转。

4.一种操作激光雷达系统的反射镜组件的方法，包括：

沿着第一轴线设置第一框架，使得所述第一框架由第一扭杆和第二扭杆支撑，第一框架在第一轴线的一侧具有平行于第一轴线的第一导体；和

使第一电流通过第一导体通过第一轴线的一侧上的第一磁场，以通过第一电流与第一磁场的相互作用引起第一框架绕第一轴线的第一旋转；

使所述第一电流沿着一路径行进，所述路径通过所述第一扭杆、沿着远离所述第一轴线的第一臂、沿着平行于所述第一轴线的横杆、沿着第二臂朝向所述第一轴线并通过所述第二扭杆；

其中所述横杆包括所述第一导体并通过所述第一磁场，且与所述横杆平行设置的第二横杆不通过磁场。

5.根据权利要求4所述的方法，还包括通过所述第一扭杆和所述第二扭杆将所述第一框架支撑在第二框架中，所述第二框架能绕第二轴线旋转。

6.根据权利要求5所述的方法，还包括使第二电流通过第二框架的第二导体并通过第二磁场到第二轴线的一侧，所述第二导体沿着第二轴线对准，以便通过第二电流与第二磁场的相互作用引起第二框架围绕第二轴线的第二旋转。