[发明专利]位置对准装置、图案形成装置及物品的制造方法

说明书

本发明涉及位置对准装置、图案形成装置及物品的制造方法。为了提供能够减少驱动中的负荷并且能够以简单的构造对基板进行调温的位置对准装置，本发明涉及的位置对准装置(60)具备：基板保持部(3)，其将基板(1)保持于基板保持面；基板调温部(8)，其经由基板保持部(3)对基板(1)进行调温；驱动部(4、5、6、7)，其使基板保持部(3)移动；以及控制部，其控制驱动部(4、5、6、7)，基板调温部(8)在与基板保持面不同的、基板保持部(3)的第二面接触的状态下对基板(1)进行调温。

[技术领域]

本发明涉及位置对准装置、图案形成装置及物品的制造方法。

[背景技术]

以往，使曝光装置中所使用的、基板的位置对准装置具备用于对基板进行调温的功能，节省从位置对准装置向调温装置搬送基板的搬送时间，由此实现提高生产率。

专利文献1公开了一种位置对准装置，具备：转动部件，其用于保持基板并使基板旋转；以及调温部件，其设置在转动部件的内部，用于与基板接触来对基板进行调温。

然而，在专利文献1公开的位置对准装置中，调温部件设置在转动部件的内部，因而转动部件增重，由此对于旋转驱动施加了负荷。

此外，需要考虑到转动部件的旋转并将调温用管、控制线等配线连接于调温部件，因而构造复杂化。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2005-311113号公报

[发明内容]

因而，本发明的目的在于提供能够降低驱动中的负荷并且能够以简单的构造对基板进行调温的位置对准装置。

本发明涉及一种位置对准装置，其特征在于，具备：基板保持部，其将基板保持于第一面；基板调温部，其经由基板保持部对基板进行调温；驱动部，其使基板保持部移动；以及控制部，其控制驱动部，基板调温部在同与第一面不同的、基板保持部的第二面接触的状态下对基板进行调温。

[附图说明]

图1A是第一实施方式涉及的位置对准装置的示意性的剖视图。

图1B是第一实施方式涉及的位置对准装置的示意性的剖视图。

图1C是第一实施方式涉及的位置对准装置的局部的示意性的立体图。

图2是第二实施方式涉及的位置对准装置的示意性的剖视图。

图3A是第三实施方式涉及的位置对准装置的示意性的剖视图。

图3B是第三实施方式涉及的位置对准装置的示意性的剖视图。

图4是第四实施方式涉及的位置对准装置的示意性的剖视图。

图5是具备第一至第四实施方式中的任一实施方式涉及的位置对准装置的曝光装置的示意图。

[具体实施方式]

以下，基于附图对本实施方式涉及的位置对准装置详细进行说明。另外，为了便于理解本实施方式，以下所示的图是以与实际情况不同的比例绘制的。

另外，在以下的说明中，将与基板保持部3的基板保持面(第一面)垂直的方向作为Z轴，将在与Z轴垂直的平面内彼此正交的两个方向分别作为X轴和Y轴。

近年，为了实现半导体器件中的图案的进一步精细化，在既定的制造进程中对基板进行调温。

尤其是在曝光装置中，在基板位置对准工序之前进行基板调温工序，由此使基板的温度分布均匀，从而能够提高重合精度。