[发明专利]位置对准装置、图案形成装置及物品的制造方法

权利要求书

1.一种位置对准装置，其特征在于，具备：

基板保持部，其将基板保持于第一面；

基板调温部，其经由所述基板保持部来对所述基板进行调温；

驱动部，其使所述基板保持部移动；以及

控制部，其控制所述驱动部，

所述基板调温部在同与所述第一面不同的、所述基板保持部的第二面接触的状态下对所述基板进行调温。

2.根据权利要求1所述的位置对准装置，其特征在于，

所述控制部控制所述驱动部，使得所述基板保持部在与所述第一面垂直的方向，在所述基板保持部载置于所述基板调温部上的第一状态与所述基板保持部不载置于所述基板调温部上的第二状态之间移动。

3.根据权利要求2所述的位置对准装置，其特征在于，

所述控制部控制所述驱动部，使得在所述第二状态下所述基板保持部绕所述垂直的方向旋转。

4.根据权利要求1所述的位置对准装置，其特征在于，

所述基板保持部被分割为多个基板保持部，

所述控制部控制所述驱动部，使得所述多个基板保持部中的部分基板保持部在与所述第一面垂直的方向，在所述基板载置于所述多个基板保持部上并且所述多个基板保持部载置于所述基板调温部上的第三状态与所述基板载置于所述部分基板保持部上并且所述部分基板保持部不载置于所述基板调温部上的第四状态之间移动。

5.根据权利要求4所述的位置对准装置，其特征在于，

所述控制部控制所述驱动部，使得在所述第四状态下所述部分基板保持部绕所述垂直的方向旋转。

6.根据权利要求4所述的位置对准装置，其特征在于，

所述部分基板保持部的厚度与其余的基板保持部的厚度不同。

7.根据权利要求2所述的位置对准装置，其特征在于，

所述控制部控制所述驱动部，使得在所述第一状态下所述基板保持部以及所述基板调温部在与所述第一面平行的方向移动。

8.根据权利要求1所述的位置对准装置，其特征在于，

在所述基板保持部设置有用于测量所述基板的温度的温度测量部。

9.一种图案形成装置，用于在基板上形成图案，其特征在于，

具备对所述基板进行位置对准的、根据权利要求1至8中的任一项所述的位置对准装置。

10.一种物品的制造方法，其特征在于，包括：

使用根据权利要求9所述的图案形成装置在所述基板上形成图案的工序；以及

对形成了图案的所述基板进行加工来获得物品的工序。

11.一种位置对准方法，其特征在于，包括：

在将基板保持于第一面的基板保持部不载置于对所述基板进行调温的基板调温部上的状态下，使该基板保持部绕与所述第一面垂直的方向旋转的工序；

使所述基板保持部在所述垂直的方向移动使得所述基板保持部载置于所述基板调温部上的工序；以及

在所述基板保持部载置于所述基板调温部上的状态下使所述基板保持部以及所述基板调温部在与所述第一面平行的方向移动的工序。