[发明专利]密封传输装置

说明书

一种密封传输装置包含主体、承载模组以及驱动装置。主体具有容置空间以容纳待测物，主体具有开口。承载模组可设置于容置空间中，其包含盖部，对应于主体的开口而设置以密封容置空间；以及承载部，其由盖部延伸，并设置于容置空间中，用以承载待测物。驱动装置可连接该承载模组，并驱动承载模组的至少一部分移动离开容置空间，致使待测物移出容置空间以供进行检测。其中，当承载模组移动离开容置空间时，容置空间由密封状态改变为非密封状态。

技术领域

本发明是有关于一种密封传输装置，特别是有关于一种能在真空环境下开启的密封传输装置。

背景技术

随着科学技术的演进，电子显微镜已为广泛使用的检测工具，不论是针对基材结构、封装结构、印刷电路板等的半导体及微电子领域；浆料成分分析、化学机械研磨或陶瓷结构分析等材料化工领域；抑或是各式纤维或金属结构分析的工业制造及精密加工领域，都是电子显微镜可应用的范畴。

然而，在某些情况下，待检测样品需避免暴露于大气环境下以防止氧化、受潮或受到其他粒子污染等问题而造成样品的损毁或污染。举例而言，在锂电池的材料分析研究中，待测物上包含材料“锂”，此材料一旦接触大气环境会快速地氧化，因此需要一种具有良好气密功能且能于电子显微镜的真空腔室中快速开启的传输装置，以提供上述须避免暴露于大气环境下的待测物进入电子显微镜中进行检测。

发明内容

在此提供一种密封传输装置，其可在真空环境中开启并移动其中用于承载待测物的承载模组以暴露出被运送的待测物。

本发明的目的在于提供一种密封传输装置，其包含主体、承载模组以及驱动装置。主体具有容置空间以容纳待测物，主体具有开口。承载模组可设置于容置空间中，承载模组包含盖部，对应于主体的开口而设置以密封容置空间；以及承载部，其由盖部延伸，并设置于容置空间中用以承载待测物。驱动装置可连接该承载模组，并驱动承载模组的至少一部分移动离开容置空间，致使待测物移出容置空间以供进行检测。其中，当承载模组移动离开容置空间时，容置空间由密封状态改变为非密封状态。

较佳地，驱动装置可包含弹性元件，其拉动或推动承载模组离开容置空间。

较佳地，弹性元件可包含拉伸弹簧或预力弹簧。

较佳地，本发明的密封传输装置更包含锁扣组件，其将承载模组锁扣并固定于主体的容置空间中，当锁扣组件解锁时，弹性元件可拉动或推动承载模组离开容置空间。

较佳地，驱动装置可更包含螺杆组件及马达装置。螺杆组件可连接承载模组，并将承载模组锁合及固定于容置空间中。马达装置可连接螺杆组件，并且马达装置旋转螺杆组件以驱动承载模组离开容置空间。

较佳地，承载模组的盖部可更包含密封元件，以使容置空间与外部环境气密隔绝。

较佳地，本发明的密封传输装置可包含气压控制装置，其设至于主体上以控制容置空间内的气压。

较佳地，主体更包含窗口，窗口的材料可为允许可见光或电子束或X光通透的材料。

较佳地，承载模组的承载部可更包含位移单元，其可进行水平移动或垂直移动以改变待测物的位置。

较佳地，密封传输装置更可包含电性组件以传输控制电压或电流于主体及承载模组之间。

较佳地，密封传输装置更可包含温控元件，其设置于承载部以用于控制温度。

本发明的另一目的在于提供一种密封传输装置，其包含：主体、承载模组以及驱动装置。主体具有容置空间以容纳待测物，主体具有开口。承载模组可设置于容置空间中，其包含盖部，对应于主体的开口而设置以密封容置空间；以及承载部，其由盖部延伸，并设置于容置空间中用以承载待测物。驱动装置可连接该承载模组，并驱动承载模组的至少一部分移动离开容置空间，致使待测物移出容置空间以供进行检测。其中，当承载模组移动离开容置空间时，待测物同时移出容置空间。