[发明专利]密封传输装置在审
申请号: | 202110339496.5 | 申请日: | 2021-03-30 |
公开(公告)号: | CN113725055A | 公开(公告)日: | 2021-11-30 |
发明(设计)人: | 洪仁奕;黄祖纬;谢德宇;杨丽巧;陈志玮;俞俊豪;黄晖竣 | 申请(专利权)人: | 台湾电镜仪器股份有限公司 |
主分类号: | H01J37/20 | 分类号: | H01J37/20;H01J37/02 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 赵燕力;韩嫚嫚 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 密封 传输 装置 | ||
1.一种密封传输装置,其特征在于,所述密封传输装置包含:
一主体,具有一容置空间以容纳一待测物,所述主体具有一开口;
一承载模组,设置于所述容置空间中,所述承载模组包含:
一盖部,对应于所述主体的所述开口而设置以密封所述容置空间;及
一承载部,由所述盖部延伸,并且所述承载部设置于所述容置空间中以承载所述待测物;以及
一驱动装置,连接所述承载模组以驱动所述承载模组的至少一部分移动离开所述容置空间,致使所述待测物移出所述容置空间;
其中,当所述承载模组移动离开所述容置空间时,所述容置空间由一密封状态改变成为一非密封状态。
2.根据权利要求1所述的密封传输装置,其特征在于,所述驱动装置包含一弹性元件,其拉动或推动所述承载模组离开所述容置空间。
3.根据权利要求2所述的密封传输装置,其特征在于,所述弹性元件包含一拉伸弹簧或一预力弹簧。
4.根据权利要求2所述的密封传输装置,其特征在于,所述密封传输装置更包含一锁扣组件,其将所述承载模组锁扣并固定于所述主体的所述容置空间中,当所述锁扣组件解锁时,所述弹性元件拉动或推动所述承载模组离开所述容置空间。
5.根据权利要求1所述的密封传输装置,其特征在于,所述驱动装置包含:
一螺杆组件,其连接所述承载模组并将所述承载模组锁合及固定于所述容置空间中;以及
一马达装置,连接所述螺杆组件,且所述马达装置旋转所述螺杆组件以驱动所述承载模组离开所述容置空间。
6.根据权利要求1所述的密封传输装置,其特征在于,所述盖部更包含一密封元件,以使所述容置空间与外部环境气密隔绝。
7.根据权利要求1所述的密封传输装置,其特征在于,所述密封传输装置更包含一气压控制装置,其设置于所述主体上以控制所述容置空间内的气压。
8.根据权利要求1所述的密封传输装置,其特征在于,所述主体更包含一窗口,所述窗口的材料包含允许一可见光或一电子束通透的材料。
9.根据权利要求1所述的密封传输装置,其特征在于,所述承载部更包含一位移单元,所述位移单元进行一水平移动或一垂直移动以改变所述待测物的位置。
10.根据权利要求1所述的密封传输装置,其特征在于,所述密封传输装置更包含一电性组件,用以传输控制电压或电流于所述主体及所述承载模组之间。
11.根据权利要求1所述的密封传输装置,其特征在于,所述密封传输装置更包含一温控元件,其设置于所述承载部以用于控制温度。
12.一种密封传输装置,其特征在于,所述密封传输装置包含:
一主体,具有一容置空间以容纳一待测物,所述主体具有一开口;
一承载模组,设置于所述容置空间中,包含:
一盖部,对应于所述主体的所述开口而设置以密封所述容置空间;及
一承载部,由所述盖部延伸,并且所述盖部设置于所述容置空间中以承载所述待测物;以及
一驱动装置,连接所述承载模组以驱动所述承载模组的至少一部分移动离开所述容置空间,致使所述待测物移出所述容置空间;
其中,当所述承载模组移动离开所述容置空间时,所述待测物同时移出所述容置空间。
13.根据权利要求12所述的密封传输装置,其特征在于,所述驱动装置包含一弹性元件,其拉动或推动所述承载模组离开所述容置空间。
14.根据权利要求13所述的密封传输装置,其特征在于,所述弹性元件包含一拉伸弹簧或一预力弹簧。
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