[发明专利]显示面板及其制备方法在审
申请号: | 202110337568.2 | 申请日: | 2021-03-30 |
公开(公告)号: | CN113097266A | 公开(公告)日: | 2021-07-09 |
发明(设计)人: | 张乐陶;徐梦达 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | H01L27/32 | 分类号: | H01L27/32;H01L27/15 |
代理公司: | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人: | 远明 |
地址: | 518132 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 显示 面板 及其 制备 方法 | ||
本申请实施例公开了一种显示面板及其制备方法,所述显示面板包括基板和设置在所述基板上的薄膜晶体管,所述薄膜晶体管包括栅极、源极和漏极;所述显示面板还包括设置在所述栅极与所述源极之间的第一平坦层,所述第一平坦层为有机绝缘层。本申请通过在薄膜晶体管的栅极和源漏极之间设置第一平坦层,第一平坦层采用有机绝缘材料制成,具有较大的厚度和较好的填平性能,可以在不需要额外增加制程和面板结构的条件下增大显示面板表面的平坦性。
技术领域
本申请涉及显示技术领域,具体涉及一种显示面板及其制备方法。
背景技术
随着显示面板分辨率、开口率以及刷新频率的不断提升,信号线电阻对显示面板显示性能的影响越来越明显。为保证显示性能,信号线的厚度也不断增加,导致信号线上方的结构表面出现较大的段差,影响后续制程的进行。
发明内容
本申请实施例提供一种显示面板及其制备方法,解决了现有技术中在不增加工艺制程的条件下解决金属层图案化带来了段差问题。
本申请实施例提供一种显示面板,包括基板和设置在所述基板上的薄膜晶体管,所述薄膜晶体管包括栅极、源极和漏极;所述显示面板还包括设置在所述栅极与所述源极之间的第一平坦层,所述第一平坦层为有机绝缘层。
可选的,在本申请的一些具体实施例中,显示面板还包括:第一辅助电极层,设置在所述基板上,所述第一辅助电极层包括遮光电极;有源层,绝缘设置在所述遮光电极上;栅极绝缘层,设置在所述有源层上;第一金属层,设置在所述栅极绝缘层上,所述第一金属层包括所述栅极;以及第二金属层,设置在所述第一平坦层上,所述第二金属层包括所述源极和所述漏极;所述第一平坦层设置在所述第一金属层上,所述第一平坦层上开设有第一过孔和第二过孔,所述第一过孔与所述有源层的两端相对,所述第二过孔与所述遮光电极相对;所述源极和所述漏极通过所述第一过孔与所述有源层连接,所述源极或所述漏极通过所述第二过孔与所述遮光电极连接。
可选的,在本申请的一些具体实施例中,显示面板还包括:第一金属层,设置在所述基板上,所述第一金属层包括所述栅极,所述第一平坦层设置在所述第一金属层上;第二金属层,设置在所述第一平坦层上;第二平坦层,设置在所述第二金属层上。
可选的,在本申请的一些具体实施例中,所述第二金属层包括所述源极和所述漏极,所述第二平坦层对应所述源极或所述漏极开设有第三过孔;所述显示面板还包括发光电极,所述发光电极设置在所述第二平坦层上,所述发光电极通过所述第三过孔与所述源极或所述漏极连接;所述第一平坦层和所述第二平坦层在所述显示面板的非显示区形成净空区。
可选的,在本申请的一些具体实施例中,所述第一平坦层在所述显示面板的非显示区形成净空区,所述显示面板还包括设置在所述第二金属层上的第二辅助电极层以及设置在所述净空区上的连接端子;所述连接端子包括第一导电图案和第二导电图案中的一个或两个以及第三导电图案;所述第一导电图案位于第一金属层,所述第二导电图案位于第二金属层,所述第三导电图案位于第二辅助电极层。
可选的,在本申请的一些具体实施例中,所述第二金属层包括源极和漏极,所述第二平坦层对应所述源极或所述漏极开设有第三过孔;所述显示面板还包括发光电极,所述发光电极设置在所述第二平坦层上,所述发光电极通过所述第三过孔与所述源极或所述漏极连接,所述发光电极包括透明电极层,所述透明电极层为所述第二辅助电极层。
可选的,在本申请的一些具体实施例中,显示面板还包括:钝化层,设置在所述第二金属层上,所述钝化层包括与所述第一导电图案或所述第二导电图案相对应的连接过孔;第二辅助电极层,设置在所述钝化层上,所述第二辅助电极层包括所述第三导电图案,所述第三导电图案通过所述连接过孔与所述第一导电图案或所述第二导电图案连接;所述第二平坦层设置在所述第二辅助电极层上。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
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H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的