[发明专利]显示面板及显示面板的制备方法有效
申请号: | 202110302579.7 | 申请日: | 2021-03-22 |
公开(公告)号: | CN113097258B | 公开(公告)日: | 2022-11-08 |
发明(设计)人: | 张鹏 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | H01L27/32 | 分类号: | H01L27/32 |
代理公司: | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人: | 远明 |
地址: | 518132 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 显示 面板 制备 方法 | ||
1.一种显示面板,其特征在于,包括:
基板层;
遮光层,设置于所述基板层上;
功函调控层,设置于所述遮光层上;
缓冲层,设置于所述基板层上且包覆所述功函调控层;
薄膜晶体管阵列层,设置于所述缓冲层上;
其中,所述遮光层的功函数小于所述功函调控层的功函数;所述功函调控层与所述薄膜晶体管阵列层电连接;所述遮光层与所述薄膜晶体管阵列层之间的功函数之差为第一功函数,所述功函调控层与所述薄膜晶体管阵列层之间的功函数之差为第二功函数,所述第二功函数大于所述第一功函数。
2.根据权利要求1所述的显示面板,其特征在于,所述遮光层的材料包括钼、钽、钛、金、铝和铜中一种或多种。
3.根据权利要求1所述的显示面板,其特征在于,所述功函调控层的功函数在4eV~5eV的范围内。
4.根据权利要求1所述的显示面板,其特征在于,所述功函调控层中氧原子的占比大于所述遮光层中氧原子的占比,所述功函调控层的厚度为1nm~5nm。
5.根据权利要求1所述的显示面板,其特征在于,还包括钝化层、平坦层和像素电极,所述钝化层和所述平坦层依次层叠于所述薄膜晶体管阵列层上且所述钝化层和所述平坦层中设有第一开孔,所述像素电极设置于所述平坦层上且通过所述第一开孔与所述薄膜晶体管阵列层电性连接。
6.一种显示面板的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
在基板层上制备图案化的遮光层;
在所述遮光层上制备功函调控层;
在所述基板层和所述功函调控层表面制备缓冲层;
在所述缓冲层上制备薄膜晶体管阵列层;
其中,所述遮光层的功函数小于所述功函调控层的功函数;所述功函调控层与所述薄膜晶体管阵列层电连接;所述遮光层与所述薄膜晶体管阵列层之间的功函数之差为第一功函数,所述功函调控层与所述薄膜晶体管阵列层之间的功函数之差为第二功函数,所述第二功函数大于所述第一功函数。
7.根据权利要求6所述的制备方法,其特征在于,在制备所述功函调控层的步骤中包括:采用等离子气体对所述遮光层进行表面处理,形成所述功函调控层;其中,所述功函调控层中氧原子的占比大于所述遮光层中氧原子的占比,所述功函调控层的功函在4eV~5eV的范围内。
8.根据权利要求7所述的制备方法,其特征在于,所述等离子气体包括氧气和氧化亚氮中的一者或两者,当所述等离子气体包括氧气和氧化亚氮时,所述氧气与所述氧化亚氮的流量比例为1/3~1。
9.根据权利要求7所述的制备方法,其特征在于,所述等离子气体的密度为108cm-3~1013cm-3,所述等离子气体的压强为40mtorr~100mtorr,所述等离子气体的功率为2000W~8000W。
10.根据权利要求7所述的制备方法,其特征在于,所述表面处理的反应条件包括:初始真空度小于10-4Pa,温度为10℃~60℃,湿度为0%。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的