[发明专利]时脉分配系统、集成电路装置与时脉分配方法

说明书

一种时脉分配系统、集成电路装置与时脉分配方法。时脉分配系统包括了时脉网格结构，此时脉网格结构包括了沿着第一轴延伸的多个第一金属图案、沿着第二轴延伸的多个第二金属图案、以及沿着第三轴延伸的多个第三金属图案。这些第一金属图案、第二金属图案及第三金属图案彼此电性连接。第二轴横跨第一轴，并且第三轴倾斜于第一轴与第二轴。

技术领域

本揭露是有关于用于时脉分配系统的金属图案设计，以及相关的集成电路装置与时脉分配方法。

背景技术

集成电路(integrated circuit，IC)装置的复杂性不断增加，并且通常以增加的时脉频率运作，同时降低功耗和/或电压。在此类IC装置中提供准确的时脉信号是设计上的关注点。

发明内容

本揭露提出一种时脉分配系统，包括一时脉网格结构，此时脉网格结构包括多个第一金属图案，沿着第一轴延伸；多个第二金属图案，沿着第二轴延伸；以及多个第三金属图案，沿着第三轴延伸。这些第一金属图案、第二金属图案及第三金属图案彼此电性连接。第二轴横跨第一轴。第三轴倾斜于第一轴与第二轴。

本揭露也提出一种集成电路装置，包括基底、基底上的电路区以及电性耦接电路区且设置其上的时脉分派系统。电路区包括沿着第一轴延伸的至少一主动区、跨越主动区且沿着第二轴延伸的栅极区，其中第二轴横跨第一轴。时脉分配系统用以提供时脉信号给电路区，时脉分配系统包括在第一金属层的至少一第一金属图案，第一金属层在电路区之上，第一金属图案倾斜于第一轴与第二轴。时脉分配系统还包括在第二金属层的至少一第二金属图案，第二金属层在电路区之上，第二金属图案横跨于第一金属图案且倾斜于第一轴与第二轴。

本揭露也提出一种方法，包括：在一基底上形成一电路区，此电路区包括沿着第一轴延伸的多个主动区，以及沿着第二轴延伸跨越主动区的多个栅极区，其中第二轴横跨于第一轴；在电路区上形成多个金属图案，将这些金属图案电性耦接以形成时脉网格结构，其中时脉网格结构包括多个多边形区域，这些多边形区域以重复的方式排列且彼此邻接，每个多边形区域在其中包括上述金属图案的至少一个金属图案，此金属图案倾斜于第一轴与第二轴。

附图说明

当结合附图阅读时，根据下面详细的描述可以更好地理解本揭露的态样。应该强调的是，根据工业中的标准作法，各种特征并没有按比例绘示。实际上，为了清楚的讨论，各种特征可以被任意增大或缩小。

图1是根据一些实施例绘示用于IC装置的时脉分配系统100的示意图；

图2A是根据一些实施例绘示IC装置的布局示意图；

图2B至图2E是根据一些实施例绘示IC装置的各个部分的剖面示意图；

图3至图7是根据一些实施例绘示用于IC装置的时脉网格结构的布局示意图；

图8A～8B、9A～9B、10A～10B、11A～11B、12A～12C是根据一些实施例绘示各种时脉树的布局示意图；

图13是根据一些实施例绘示IC装置的布局示意图；

图14是根据一些实施例绘示一方法的流程图；

图15是根据一些实施例绘示电子设计自动化(EDA)系统的方块图；

图16是根据一些实施例绘示集成电路(IC)制造系统的方块图以及相关的IC制造流程。

【符号说明】

100:时脉分派系统

102:时脉源

104:时脉信号

110～119:时脉驱动器

120:网格前时脉树

121:上层