[发明专利]真空烧结炉的料盘转运机构

说明书

本发明提供了一种真空烧结炉的料盘转运机构，包括机架和安装在所述机架上的若干个工位，若干个所述工位沿横向均匀间隔设置，每个所述工位包括若干个支撑台，若干个所述支撑台沿纵向间隔分布，相邻的支撑台之间均设置有支撑组件，所述支撑组件通过横向调节机构和竖直调节机构安装在所述机架上，通过设置竖直调节机构来驱动支撑组件承托料盘和放置料盘，同时通过横向调节机构来驱动支撑组件在相邻的工位之间转运料盘，实现了物料在各工位间的快速流转和连续作业，相较于通过夹持装置夹持料盘进行转运的方式，有效的节约了各工位上方的空间，同时结构简单可靠，便于拆装和维护。

技术领域

本发明涉及半导体制造领域，尤其涉及一种真空烧结炉的料盘转运机构。

背景技术

在半导体的制造过程中，需要对封装好的半成品置于真空烧结炉中进行真空烧结，使半导体变为致密、坚硬、体积稳定、具有一定性能的烧结体。真空烧结工序包括多个加热工位、真空烧结工位和冷却工位，物料依次通过多个工位直至加工完成，这就需要转运装置进行物料在各个工位之间的转运。

发明内容

本发明要解决的技术问题是真空烧结炉中需要转运装置在各个工位之间转运物料，本发明提供了一种真空烧结炉的料盘转运机构来解决上述问题。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：一种真空烧结炉的料盘转运机构，包括机架和安装在所述机架上的若干个工位，若干个所述工位沿横向均匀间隔设置，每个所述工位包括若干个支撑台，若干个所述支撑台沿纵向间隔分布，相邻的支撑台之间均设置有支撑组件，所述支撑组件通过横向调节机构和竖直调节机构安装在所述机架上，所述横向调节机构可驱动所述支撑组件沿横向移动在相邻的工位之间转运料盘，所述支撑组件在所述竖直调节机构的驱动下可沿竖直方向向上移动承托起所述料盘或向下移动将所述料盘放置在所述支撑台上。

进一步地：所述支撑组件包括第一支架和沿横向设置的支撑杆，所述支撑杆包括共线设置的左支撑杆和右支撑杆，所述左支撑杆的左端固定安装在所述第一支架上，所述第一支架的右部固定安装有横向设置的第一导轨，所述第一导轨上滑动设置有第一滑块，所述第一滑块上固定安装有连接架，所述右支撑杆的右端固定安装在所述连接架上，所述第一滑块中安装有第一丝杠，所述第一丝杠平行于所述第一导轨设置，所述第一支架上设有第一电机，所述第一电机的输出轴与所述第一丝杠的一端固定连接，所述第一丝杠在所述第一电机的驱动下转动能够驱动所述第一滑块沿所述第一导轨滑动；所述机架上，位于相邻的工位之间设置有窗孔，所述支撑组件还包括托架，所述托架上设有若干个支撑槽，所述支撑杆贴合放置于所述支撑槽中，并能在所述支撑槽中横向滑动，所述窗孔中设有沿竖直方向设置的导杆，所述导杆的顶部与所述托架的底部固定连接，所述机架上设有与所述导杆相配合的导套，所述导杆的中部活动安装在所述导套中，所述第一支架上设有沿横向设置的第二导轨，所述导杆的底部固定安装有第二滑块，所述第二滑块滑动安装在所述第二导轨上。

进一步地：所述横向调节机构包括第三支架、第三电机、第三导轨和第三丝杠，所述第三导轨沿横向固定安装在所述机架上，所述第三支架通过所述竖直调节机构与所述第一支架相连接，所述第三丝杠平行于所述第三导轨设置，并转动安装在所述机架上，所述第三丝杠上安装有第三滑块，所述第三滑块与所述第三支架固定连接，并滑动安装在所述第三导轨上，所述第三电机固定安装在所述机架上，所述第三电机的输出轴与所述第三丝杠的一端固定连接，所述第三丝杠在所述第三电机的驱动下转动能够带动所述第三滑块沿横向移动。

进一步地：所述竖直调节机构包括第四电机、第四导轨、第四滑块和第四丝杠，所述第四导轨沿竖直方向固定安装在所述第三支架上，所述第四滑块滑动安装在所述第四导轨上，并与所述第一支架固定连接，所述第四丝杠平行于所述第四导轨设置，并转动安装在所述第三支架上，所述第四滑块安装在所述第四丝杠上，所述第四电机固定安装在所述第三支架上，所述第四电机的输出轴与所述第四丝杠的一端固定连接，所述第四丝杠在所述第四电机的驱动下转动能够带动所述第四滑块沿所述第四导轨移动。