[发明专利]真空烧结炉的料盘转运机构有效

专利信息
申请号: 202110296246.8 申请日: 2021-03-19
公开(公告)号: CN113066744B 公开(公告)日: 2021-11-16
发明(设计)人: 向军;封浩;冯霞霞;王金磊 申请(专利权)人: 江苏新智达新能源设备有限公司
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677;H01L21/67
代理公司: 南京中高专利代理有限公司 32333 代理人: 陈章
地址: 214000 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 真空 烧结炉 转运 机构
【权利要求书】:

1.一种真空烧结炉的料盘转运机构,包括机架(1)和安装在所述机架(1)上的若干个工位,其特征在于:若干个所述工位沿横向均匀间隔设置,每个所述工位包括若干个支撑台(2),若干个所述支撑台(2)沿纵向间隔分布,相邻的支撑台(2)之间均设置有支撑组件,

所述支撑组件通过横向调节机构和竖直调节机构安装在所述机架(1)上,所述横向调节机构可驱动所述支撑组件沿横向移动在相邻的工位之间转运料盘,所述支撑组件在所述竖直调节机构的驱动下可沿竖直方向向上移动承托起所述料盘或向下移动将所述料盘放置在所述支撑台(2)上。

2.如权利要求1所述的真空烧结炉的料盘转运机构,其特征在于:所述支撑组件包括第一支架(3)和沿横向设置的支撑杆,所述支撑杆包括共线设置的左支撑杆(4)和右支撑杆(5),所述左支撑杆(4)的左端固定安装在所述第一支架(3)上,所述第一支架(3)的右部固定安装有横向设置的第一导轨(6),所述第一导轨(6)上滑动设置有第一滑块(7),所述第一滑块(7)上固定安装有连接架(8),所述右支撑杆(5)的右端固定安装在所述连接架(8)上,所述第一滑块(7)中安装有第一丝杠(9),所述第一丝杠(9)平行于所述第一导轨(6)设置,所述第一支架(3)上设有第一电机(10),所述第一电机(10)的输出轴与所述第一丝杠(9)的一端固定连接,所述第一丝杠(9)在所述第一电机(10)的驱动下转动能够驱动所述第一滑块(7)沿所述第一导轨(6)滑动;

所述机架(1)上,位于相邻的工位之间设置有窗孔(11),所述支撑组件还包括托架(12),所述托架(12)上设有若干个支撑槽(13),所述支撑杆贴合放置于所述支撑槽(13)中,并能在所述支撑槽(13)中横向滑动,所述窗孔(11)中设有沿竖直方向设置的导杆(14),所述导杆(14)的顶部与所述托架(12)的底部固定连接,所述机架(1)上设有与所述导杆(14)相配合的导套(15),所述导杆(14)的中部活动安装在所述导套(15)中,所述第一支架(3)上设有沿横向设置的第二导轨(16),所述导杆(14)的底部固定安装有第二滑块(17),所述第二滑块(17)滑动安装在所述第二导轨(16)上。

3.如权利要求2所述的真空烧结炉的料盘转运机构,其特征在于:所述横向调节机构包括第三支架(20)、第三电机(21)、第三导轨(22)和第三丝杠(23),所述第三导轨(22)沿横向固定安装在所述机架(1)上,所述第三支架(20)通过所述竖直调节机构与所述第一支架(3)相连接,所述第三丝杠(23)平行于所述第三导轨(22)设置,并转动安装在所述机架(1)上,所述第三丝杠(23)上安装有第三滑块(24),所述第三滑块(24)与所述第三支架(20)固定连接,并滑动安装在所述第三导轨(22)上,所述第三电机(21)固定安装在所述机架(1)上,所述第三电机(21)的输出轴与所述第三丝杠(23)的一端固定连接,所述第三丝杠(23)在所述第三电机(21)的驱动下转动能够带动所述第三滑块(24)沿横向移动。

4.如权利要求3所述的真空烧结炉的料盘转运机构,其特征在于:所述竖直调节机构包括第四电机(25)、第四导轨(26)、第四滑块(27)和第四丝杠(28),所述第四导轨(26)沿竖直方向固定安装在所述第三支架(20)上,所述第四滑块(27)滑动安装在所述第四导轨(26)上,并与所述第一支架(3)固定连接,所述第四丝杠(28)平行于所述第四导轨(26)设置,并转动安装在所述第三支架(20)上,所述第四滑块(27)安装在所述第四丝杠(28)上,所述第四电机(25)固定安装在所述第三支架(20)上,所述第四电机(25)的输出轴与所述第四丝杠(28)的一端固定连接,所述第四丝杠(28)在所述第四电机(25)的驱动下转动能够带动所述第四滑块(27)沿所述第四导轨(26)移动。

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