[发明专利]图案形成装置、图案形成方法以及喷出数据生成方法

权利要求书

1.一种图案形成装置，在布线基板上形成阻焊膜的图案，其中，

所述图案形成装置具有：

保持部，保持布线基板；

头部，以喷墨方式向所述布线基板的表面喷出阻焊剂的墨水液滴；

移动机构，使所述头部沿着与所述布线基板的表面平行的方向相对于所述保持部相对地移动；

喷出数据生成部，基于表示阻焊膜的图案的阻焊图案数据，生成表示每单位面积的墨水的喷出量的喷出数据；以及

控制部，通过基于所述喷出数据来控制所述头部以及所述移动机构，从而在所述布线基板上形成阻焊膜的图案，

所述喷出数据生成部针对所述阻焊图案数据中包含的不同种类的图案中的每个种类的图案，生成设定有不同的喷出量的所述喷出数据。

2.如权利要求1所述的图案形成装置，其中，

所述阻焊膜的图案包括：第一线宽的线状的第一图案；以及比第一线宽小的第二线宽的线状的第二图案，

所述喷出数据生成部生成相对于所述第二图案的喷出量被设定为大于相对于所述第一图案的喷出量的值的喷出数据。

3.如权利要求1或2所述的图案形成装置，其中，

所述阻焊膜的图案包括交叉状的第三图案，

所述喷出数据生成部生成相对于所述第三图案的喷出量被设定为小于规定的基准喷出量的值的喷出数据。

4.如权利要求2所述的图案形成装置，其中，

所述阻焊膜的图案包括交叉状的第三图案，

所述喷出数据生成部生成相对于所述第三图案的喷出量被设定为小于相对于所述第一图案以及所述第二图案的喷出量的值的喷出数据。

5.如权利要求1至4中任一项所述的图案形成装置，其中，

所述图案形成装置还具有存储部，所述存储部存储规定了相对于多个种类的图案的每单位面积的喷出量的修正表信息，

所述喷出数据生成部包括：

图案确定部，在所述阻焊图案数据中确定登记于所述修正表信息中的图案；以及

喷出量设定部，基于所述修正表信息，设定相对于由所述图案确定部确定的图案的喷出量。

6.一种图案形成方法，在布线基板上形成阻焊膜的图案，其中，

所述图案形成方法包括：

工序(a)，以喷墨方式从头部向所述布线基板的表面喷出阻焊剂的墨水液滴；

工序(b)，在所述工序(a)中，使所述头部沿着与所述布线基板的表面平行的方向相对于所述布线基板相对地移动；以及

工序(c)，在所述工序(a)中，根据形成在所述布线基板上的阻焊膜的图案的种类，使每单位面积的墨水的喷出量不同。

7.一种喷出数据生成方法，生成在以喷墨方式从头部向布线基板喷出阻焊剂的墨水的液滴时所使用的喷出数据，其中，

所述喷出数据生成方法包括：

工序(A)，准备形成在布线基板上的阻焊图案数据；以及

工序(B)，针对阻焊图案数据中包含的不同种类的图案中的每个种类的图案，生成设定有不同的每单位面积的喷出量的喷出数据。