[发明专利]具有可调接头的衬底操作装置

权利要求书

1.一种联动式衬底操作装置，其包括：

在近端和远端之间延伸的第一连杆；

在近端和远端之间延伸的第二连杆；

设置在所述第一连杆的远端和所述第二连杆的近端之间的旋转接头，其中所述第一连杆和所述第二连杆构造成围绕所述旋转接头旋转；

可调接头，所述可调接头具有：

连接到所述旋转接头的第一主体；以及

连接到所述第二连杆的近端的第二主体，其中所述第一主体和所述第二主体以选定的接触角刚性地可连接以调节所述第二连杆围绕在所述第二连杆的近端和远端之间延伸的长轴的俯仰或翻滚；以及

由所述第二连杆的远端支撑的末端执行器。

2.根据权利要求1所述的装置，其中所述第一主体包括调节表面并且所述第二主体包括接触表面，其中当所述第一主体和所述第二主体刚性地连接时所述调节表面抵靠所述接触表面设置。

3.根据权利要求2所述的装置，其中所述第一主体还包括：

延伸通过所述调节表面的至少第一调节孔，所述第一调节孔是内螺纹的；以及

设置在所述第一调节孔中的第一固定螺钉，其中所述第一固定螺钉构造成用于通过所述第一调节孔前进和缩回以选择性地将所述第一固定螺钉的尖端设置在所述调节表面上方或下方。

4.根据权利要求3所述的装置，其中当刚性地连接所述第一主体和所述第二主体时，所述固定螺钉的尖端在所述调节表面上方的距离在第一轴线上调节所述调节表面和所述接触表面之间的接触角。

5.根据权利要求3所述的装置，其中所述第一主体还包括：

延伸通过所述调节表面的至少第二调节孔，所述第二调节孔是内螺纹的；以及

设置在所述第二调节孔中的第二固定螺钉，其中所述第二固定螺钉构造成用于通过所述第二调节孔前进和缩回以选择性地将所述第二固定螺钉的尖端设置在所述调节表面上方或下方。

6.根据权利要求5所述的装置，其中当刚性地连接所述第一主体和所述第二主体时，所述第一固定螺钉和所述第二固定螺钉的尖端在所述调节表面上方的距离在两个轴线上调节所述调节表面和所述接触表面之间的接触角。

7.根据权利要求2所述的装置，其中所述接触表面是平面表面。

8.根据权利要求7所述的装置，其中所述调节表面包括以一定角度设置的第一平面表面和第二平面表面。

9.根据权利要求1所述的装置，其还包括：

将所述第一主体连接到所述第二主体的多个紧固件。

10.根据权利要求1所述的装置，其中所述第一连杆包括大致平行的一对第一连杆，并且所述第二连杆包括大致平行的一对第二连杆，其中所述旋转接头包括第一旋转接头和第二旋转接头，并且所述可调接头包括第一可调接头和第二可调接头。

11.根据权利要求1所述的装置，其中所述旋转接头包括用于将运动从所述第一连杆传递到所述第二连杆的至少第一齿轮。

12.根据权利要求11所述的装置，其中由所述第二连杆的远端支撑的所述末端执行器与任何齿轮间隔至少200mm。

13.一种联动式衬底操作装置，其包括：

在近端和远端之间延伸的第一连杆；

在近端和远端之间延伸的第二连杆；

将所述第一连杆的远端连接到所述第二连杆的近端的旋转联接件，所述旋转联接件具有用于将运动从所述第一连杆传递到所述第二连杆的至少第一齿轮；以及

由所述第二连杆的远端支撑的末端执行器，所述末端执行器与包括齿轮的任何旋转联接件间隔至少200mm。