[发明专利]氧化铝烧结体的制法以及氧化铝烧结体

权利要求书

1.一种氧化铝烧结体的制法，其包含如下工序：

(a)获得成形体的工序，通过将包含Al₂O₃粉末、MgO粉末、MgF₂粉末、溶剂、分散剂以及凝胶化剂的浆料投入成形模具中，在所述成形模具内使所述凝胶化剂进行化学反应而使所述浆料凝胶化，然后进行脱模，从而获得成形体，

(b)获得预烧体的工序，通过将该成形体干燥后进行脱脂，并且进一步进行预烧，从而获得预烧体，

(c)获得陶瓷烧结体的工序，通过对所述预烧体在1150～1350℃进行热压煅烧，从而获得陶瓷烧结体，

在所述工序(a)中，在调制所述浆料时，作为Al₂O₃粉末，使用纯度为99.9质量％以上的Al₂O₃粉末，相对于Al₂O₃粉末100质量份，使用0.1～0.2质量份的MgO粉末、0.13质量份以下的MgF₂粉末。

2.如权利求要求1所述的氧化铝烧结体的制法，所述工序(a)中，使用0.09～0.13质量份的所述MgF₂粉末。

3.一种氧化铝烧结体，其含有0.09～0.17质量％的Mg元素，0.03～0.04质量％的F元素，在400℃的体积电阻率为1.0×10¹⁵Ω·cm以上，耐电压为130kV/mm以上，平均粒径为0.5～10μm，粒径的3σ为1～20μm，其中，σ为标准偏差。

4.如权利求要求3所述的氧化铝烧结体，其平均粒径为1～2μm，粒径的3σ为1～2μm。