[发明专利]一种晶圆清洗用适用于不同尺寸的花篮

权利要求书

1.一种晶圆清洗用适用于不同尺寸的花篮，包括支撑机构(1)，其特征在于：还包括设置在所述支撑机构(1)上的用于对晶圆进行限位支撑的限位机构(2)，所述限位机构(2)上设置有用于对放置晶圆进行固定的固定机构(4)，所述限位机构(2)两端设置有用于对所述限位机构(2)进行限位调整的调整机构(3)，所述调整机构(3)与所述限位机构(2)连接，所述限位机构(2)与所述固定机构(4)连接，所述调整机构(3)与所述支撑机构(1)连接；

所述支撑机构(1)包括设置在两侧的立板(11)，所述立板(11)下端设置有底板(12)，所述立板(11)上设置有工艺孔，所述立板(11)上端设置有提手(5)；

所述限位机构(2)包括第一限位板(21)、第二限位板(22)、第三限位板(23)，所述第一限位板(21)、所述第二限位板(22)内侧面上设置有下限位座(24)，所述第三限位板(23)下端设置有上限位座(25)，所述下限位座(24)、所述上限位座(25)呈等边三角状分布，所述下限位座(24)、所述上限位座(25)相对面上均设置有隔板(26)，且所述隔板(26)间隔相同设置；

所述调整机构(3)包括滑轨(31)，所述滑轨(31)前后对称设置，所述滑轨(31)内侧设置有滑块(33)，所述滑轨(31)前后端均设置有盖板(32)，所述滑块(33)分别固定在所述第一限位板(21)、所述第二限位板(22)两端，所述滑块(33)上穿设有双螺旋丝杠(34)，所述双螺旋丝杠(34)前后两端穿过所述盖板(32)，且所述双螺旋丝杠(34)前后端上均设置有销轴(35)，所述第三限位板(23)两侧连接有螺杆(37)，所述螺杆(37)下端设置有连接头(38)，所述螺杆(37)上设置有支撑座(36)，所述支撑座(36)与所述立板(11)焊接；

所述固定机构(4)包括支撑轴(41)，所述支撑轴(41)两端设置有侧板(42)，所述支撑轴(41)上间隔设置有夹板(43)，且两相邻所述夹板(43)间与所述隔板(26)相对应处设置有限位环(45)，所述支撑轴(41)上位于所述限位环(45)相邻位置设置有弹簧(44)；

所述提手(5)呈工字型，所述提手(5)与所述立板(11)焊接；

所述第一限位板(21)、所述第二限位板(22)处于同一水平面上，所述下限位座(24)位于所述隔板(26)间为圆弧支撑面；

所述螺杆(37)与所述连接头(38)焊接，所述螺杆(37)与所述支撑座(36)螺纹连接，所述螺杆(37)上端设置有旋钮；

所述第三限位板(23)两端设置有凹槽，所述连接头(38)内嵌在该凹槽内，且与所述第三限位板(23)转动连接。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗用适用于不同尺寸的花篮，其特征在于：所述提手(5)横截面为扁平状，所述提手(5)与所述立板(11)螺栓连接，且为所述立板(11)上端中心位置。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗用适用于不同尺寸的花篮，其特征在于：所述滑轨(31)焊接在所述立板(11)侧壁上，所述盖板(32)与所述滑轨(31)焊接，所述双螺旋丝杠(34)与所述盖板(32)转动连接。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗用适用于不同尺寸的花篮，其特征在于：所述双螺旋丝杠(34)与所述滑块(33)螺纹连接，所述滑块(33)与所述第一限位板(21)、所述第二限位板(22)焊接。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗用适用于不同尺寸的花篮，其特征在于：所述夹板(43)与所述支撑轴(41)间隙连接，所述支撑轴(41)与所述侧板(42)焊接。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗用适用于不同尺寸的花篮，其特征在于：所述调整机构(3)分别设置在所述立板(11)内壁上，且相互对称。