[发明专利]一种芯片酸洗机在审

专利信息
申请号: 202110155640.X 申请日: 2021-02-04
公开(公告)号: CN112967954A 公开(公告)日: 2021-06-15
发明(设计)人: 陈燕玉 申请(专利权)人: 广州东陶网络科技有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 510665 广*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 芯片 酸洗
【权利要求书】:

1.一种芯片酸洗机,其特征在于:其结构包括侧门(1)、输液头(2)、机箱(3)、控制盘(4),所述侧门(1)连接在机箱(3)外侧上,所述机箱(3)一侧连接有控制盘(4),所述控制盘(4)与输液头(2)之间采用电性连接,所述机箱(3)包括机体(31)、转换管(32)、输送管(33)、盛放箱(34)、气囊环(35),所述机体(31)上连接有输液头(2),所述输送管(33)和输液头(2)之间连接有转换管(32),所述输送管(33)通过气囊环(35)与盛放箱(34)间接配合。

2.根据权利要求1所述的一种芯片酸洗机,其特征在于:所述气囊环(35)包括顶把(351)、衔接环(352)、助力装置(353)、囊膜(354),所述顶把(351)与助力装置(353)间隙配合,所述助力装置(353)安装在衔接环(352)内侧,所述衔接环(352)连接在囊膜(354)上。

3.根据权利要求2所述的一种芯片酸洗机,其特征在于:所述助力装置(353)包括调节环(53a)、控位件(53b)、掐进结构(53c)、支撑叉(53d)、护翼(53f)、对接板(53e),所述调节环(53a)两侧均设有对接板(53e),且之间采用铰接连接的方式配合在一起,所述对接板(53e)一端连接有支撑叉(53d),所述支撑叉(53d)内安装有控位件(53b),且底部设置有掐进结构(53c),所述控位件(53b)过渡配合在护翼(53f)上,所述护翼(53f)转动配合在支撑叉(53d)底部,且连接在调节环(53a)上,所述调节环(53a)底部采用嵌接连接的方式与衔接环(352)相配合。

4.根据权利要求3所述的一种芯片酸洗机,其特征在于:所述控位件(53b)包括张合板(53b1)、导向板(53b2)、压板(53b3)、凸扣(53b4)、夹持装置(53b5)、弹簧(53b6),所述张合板(53b1)安装在夹持装置(53b5)上,且连接有弹簧(53b6),所述导向板(53b2)倾斜连接在张合板(53b1)和压板(53b3)之间,所述压板(53b3)通过凸扣(53b4)连接在支撑叉(53d)的上。

5.根据权利要求4所述的一种芯片酸洗机,其特征在于:所述夹持装置(53b5)包括外延板(b51)、拢锥(b52)、中间件(b53)、插脚(b54)、加强垫(b55)、磨合层(b56),所述外延板(b51)连接在拢锥(b52)上,所述拢锥(b52)上连接有插脚(b54)和磨合层(b56),所述插脚(b54)通过中间件(b53)活动卡合在支撑叉(53d)上,所述加强垫(b55)倾斜穿插在拢锥(b52)与外延板(b51)之间。

6.根据权利要求5所述的一种芯片酸洗机,其特征在于:所述外延板(b51)表面通过加强垫(b55)与张合板(53b1)尖端过渡配合。

7.根据权利要求3所述的一种芯片酸洗机,其特征在于:所述掐进结构(53c)包括顶位球(53c1)、圈环(53c2)、托盆(53c3),所述托盆(53c3)上设有三个结构大小一致的顶位球(53c1),且上方连接有圈环(53c2)。

8.根据权利要求7所述的一种芯片酸洗机,其特征在于:所述顶位球(53c1)包括爪扣(c11)、球体(c12)、转轴(c13),所述爪扣(c11)通过转轴(c13)连接在球体(c12)上,所述球体(c12)连接在托盆(53c3)上。

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