[发明专利]有机光检测器及其制备方法、显示面板、显示设备在审
申请号: | 202110098999.8 | 申请日: | 2021-01-25 |
公开(公告)号: | CN112928215A | 公开(公告)日: | 2021-06-08 |
发明(设计)人: | 刘明 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司 |
主分类号: | H01L51/48 | 分类号: | H01L51/48;H01L51/42;H01L27/32;H01L27/30;G06K9/00 |
代理公司: | 北京市立方律师事务所 11330 | 代理人: | 张筱宁;宋海斌 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 有机 检测器 及其 制备 方法 显示 面板 设备 | ||
本申请实施例提供了一种有机光检测器及其制备方法、显示面板、显示设备。在本申请实施例提供的有机光检测器的制备方法中,通过以第一电极结构代替光刻胶结构作为掩膜,图案化有机光感器件层,能够避免常规刻蚀工艺中光刻胶结构以及光刻胶剥离等工艺步骤对有机光感器件结构的影响,有利于提升有机光感器件结构的质量,从而提升整个有机光检测器的质量;而且,能够使得有机光检测器的制备方法与有机发光显示面板的制备工艺兼容,使得有机光检测器可以集成于有机发光显示面板中,有利于提升生产效率、降低成本。
技术领域
本申请涉及显示技术领域,具体而言,本申请涉及一种有机光检测器及其制备方法、显示面板、显示设备。
背景技术
随着显示技术的发展,现有显示面板的交互方式越来越多样化,例如,屏下指纹识别功能。目前,屏下指纹识别最好的实现方式是光学指纹识别,通过设置于显示面板内部的OPD(Organic Photometric Detector,有机光检测器)来检测用户手指的反射光,从而实现用户手指指纹的识别。
但是,OPD中包括有机光感器件结构,有机光感器件结构通过有机光感器件层图案化制备得到,采用现有显示面板的刻蚀工艺图案化有机光感器件层时,有机光感器件层容易受到光刻胶结构以及光刻胶剥离等工艺步骤的影响,从而使得制备得到的有机光感器件结构出现失效的问题。
发明内容
本申请针对现有方式的缺点,提出一种有机光检测器及其制备方法、显示面板、显示设备,用以解决现有技术中图案化有机光感器件层制备得到OPD有机光感器件结构的过程中,有机光感器件结构容易受到光刻工艺影响而失效的技术问题。
第一个方面,本申请实施例提供了一种有机光检测器的制备方法,包括:
在第一电极层远离有机光感器件层的一侧制备得到光刻胶结构,使得光刻胶结构在基板上的正投影覆盖像素定义层中凹槽结构在基板上的正投影,凹槽结构用于容纳至少部分有机光感器件结构;
将第一电极层中未被光刻胶结构覆盖的第一部分刻蚀至设计厚度;
当第一部分达到设计厚度时,剥离光刻胶结构,使得第一电极层的第二部分出露;
刻蚀去除第一部分的同时,得到减薄后的第二部分,作为有机光检测器的第一电极结构;
以第一电极结构为掩膜,图案化有机光感器件层,得到有机光检测器的有机光感器件结构。
第二个方面,本申请实施例提供了一种有机光检测器,包括:
有机光感器件结构;
第一电极结构,位于有机光感器件结构的一侧,有机光感器件结构是以第一电极结构为掩膜制备得到的。
第三个方面,本申请实施例提供了一种显示面板,包括:基板、有机发光器件结构和如上述第二个方面所提供的有机光检测器;
有机发光器件结构位于基板一侧,有机光检测器位于有机发光器件结构远离基板的一侧,且有机光检测器的第二电极结构包括有机发光器件结构的阳极结构。
第四个方面,本申请实施例提供一种显示设备,包括如上述第二个方面所提供的有机光检测器,或者,包括如上述第三个方面所提供的显示面板。
本申请实施例提供的技术方案带来的有益技术效果包括:
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