[发明专利]X射线探测基板及X射线探测器

说明书

本公开涉及一种X射线探测基板及X射线探测器。X射线探测基板包括：衬底，至少包括探测功能区；驱动电路层，形成在衬底上，驱动电路层包括多个位于探测功能区的探测像素电路；第一电极层，形成在驱动电路层远离衬底的一侧，并位于探测功能区，第一电极层包括多个相互断开且呈阵列排布的第一电极，每个第一电极对应与一探测像素电路连接；转换材料层，位于探测功能区并覆盖第一电极层；转换材料层中与衬底的厚度方向相平行的至少一个面为X射线接收面；第二电极层，位于探测功能区并覆盖转换材料层，第二电极层被配置为加载参考电压。本方案的X射线探测基板具有良好的能谱探测能力及应用范围广。

技术领域

本公开涉及探测技术领域，具体而言，涉及一种X射线探测基板及X射线探测器。

背景技术

X射线检测技术广泛应用于工业无损检测、集装箱扫描、电路板检查、医疗、安防、工业等领域，具有广阔的应用前景。但目前的X-ray(即：X射线)平板探测器无法获得不同能量的X-ray信息，限制了其图像分辨能力及应用范围。

发明内容

本公开的目的在于提供一种X射线探测基板及X射线探测器，进而至少在一定程度上克服由于相关技术的限制和缺陷而导致的一个或者多个问题。

本公开第一方面提供了一种X射线探测基板，其包括：

衬底，至少包括探测功能区；

驱动电路层，形成在所述衬底上，且所述驱动电路层包括多个位于所述探测功能区的探测像素电路；

第一电极层，形成在所述驱动电路层远离所述衬底的一侧，并位于所述探测功能区，所述第一电极层包括多个相互断开且呈阵列排布的第一电极，每个所述第一电极对应与一所述探测像素电路连接；

转换材料层，位于所述探测功能区并覆盖所述第一电极层，所述转换材料层用于将其接收到的X射线转化成载流子，所述转换材料层中与所述衬底的厚度方向相平行的至少一个面为X射线接收面；

第二电极层，位于所述探测功能区并覆盖所述转换材料层，所述第二电极层被配置为加载参考电压。

在本公开的一种示例性实施例中，

所述衬底还包括光线准直区，所述光线准直区位于所述探测功能区靠近所述X射线接收面的一侧；

所述X射线探测基板还包括光线准直层，所述光线准直层位于所述光线准直区。

在本公开的一种示例性实施例中，所述光线准直层至少包括X射线吸收层；

其中，在垂直于所述X射线接收面的方向上，所述X射线吸收层覆盖所述X射线接收面的部分区域，或所述X射线吸收层与所述X射线接收面不存在交叠。

在本公开的一种示例性实施例中，所述X射线接收面具有第一区和位于所述第一区远离所述衬底一侧的第二区；

其中，所述X射线吸收层在所述X射线接收面上的正投影覆盖所述X射线接收面的第一区，并与所述X射线接收面的第二区不存在交叠。

在本公开的一种示例性实施例中，所述第一区在所述衬底的厚度方向上的尺寸与所述X射线接收面在所述衬底的厚度方向上的尺寸之间的比值小于等于0.1。

在本公开的一种示例性实施例中，

所述X射线吸收层远离所述衬底的一侧相比于所述第一电极层远离所述衬底的一侧更靠近所述衬底；或

所述X射线吸收层远离所述衬底的一侧与所述第一电极层远离所述衬底的一侧相平齐。

在本公开的一种示例性实施例中，多个所述第一电极在行方向和列方向上阵列排布，所述行方向与所述列方向相互垂直，且所述行方向为垂直于所述X射线接收面的方向；其中，