[发明专利]电子装置及其制造方法

说明书

本发明提供一种电子装置及其制造方法。电子装置包括基板、第一主动元件、第二主动元件、保护层以及控制电极。第一主动元件与第二主动元件位于基板上。第一主动元件包括第一源极区、第一通道区、第一漏极区、第一栅极、第一源极与第一漏极。第二主动元件包括第二源极区、第二通道区、第二漏极区、第二栅极、第二源极与第二漏极。第一通道区的材料不同于第二通道区的材料。第一源极区、第一漏极区、第二源极区与第二漏极区的材料相同。控制电极电性连接第二漏极。

本申请为分案申请。

原申请的申请日：2019.04.01 申请号：201910257765.6

发明名称：电子装置及其制造方法

技术领域

本发明涉及一种电子装置，且特别涉及一种包括第一主动元件与第二主动元件的电子装置及其制造方法。

背景技术

在电子装置中往往包含了许多的主动元件，为了因应各种不同的功能需求，电子装置中可能含有一种以上的主动元件。举例来说，在显示装置中，为了获得较好的产品性能，位于驱动电路中的主动元件可能与位于画素中的主动元件具有不同的阻抗。

在现有技术中，可以通过调整通道区长度以获得不同阻抗的主动元件。然而，仅通过调整主动元件的通道区长度难以应付不同功能需求。为了形成性能差异较大的主动元件，往往需要增加许多的制程步骤，这导致了电子装置的制造成本大幅上升。

发明内容

本发明提供一种电子装置，具有低制造成本以及易于制造的优点。

本发明提供一种电子装置的制造方法，具有低制造成本以及易于制造的优点。

本发明的至少一实施例提供一种电子装置包括基板、第一主动元件、第二主动元件、保护层以及控制电极。第一主动元件与第二主动元件位于基板上。第一主动元件包括第一源极区、第一通道区、第一漏极区、第一栅极、第一源极与第一漏极。第一栅极对应于第一通道区设置，且与第一通道区之间夹有栅极绝缘层。第一源极与第一漏极分别对应且电性连接至第一源极区与第一漏极区。第二主动元件包括第二源极区、第二通道区、第二漏极区、第二栅极、第二源极与第二漏极。第一通道区的材料不同于第二通道区的材料。第一源极区、第一漏极区、第二源极区与第二漏极区的材料相同。第二栅极对应于第二通道区设置，且与第二通道区之间夹有栅极绝缘层。第二源极与第二漏极分别对应且电性连接至第二源极区与第二漏极区。保护层位于第一主动元件以及第二主动元件上。控制电极电性连接该第二漏极。

本发明的至少一实施例提供一种电子装置的制造方法，包括：提供基板；形成第一源极区、第一通道区、第一漏极区、第二源极区、第二通道区以及第二漏极区于基板上，其中第一通道区的材料不同于第二通道区的材料，第一源极区、第一漏极区、第二源极区与第二漏极区的材料相同；形成栅极绝缘层于基板上；形成第一栅极与第二栅极于基板上；形成第一源极、第一漏极、第二源极与第二漏极于基板上，其中第一源极与第一漏极分别对应且电性连接至第一源极区与第一漏极区，第二源极与第二漏极分别对应且电性连接至第二源极区与第二漏极区；形成保护层于第一源极、第一漏极、第二源极与第二漏极上；形成控制电极以电性连接第二漏极。

为让本发明的上述特征和优点能更明显易懂，下文特举实施例，并配合所附图式作详细说明如下。

附图说明

图1A～图1E是依照本发明的一实施例的一种电子装置的制造方法的剖面示意图。

图2是依照本发明的一实施例的一种电子装置的上视示意图。

图3是依照本发明的一实施例的一种电子装置的局部电路示意图。

图4A～图4C是依照本发明的一实施例的一种处理制程的剖面示意图。

图5A～图5C是依照本发明的一实施例的一种处理制程的剖面示意图。