[发明专利]一种单晶硅异质结太阳能电池用化学镀铜方法有效
申请号: | 202110014923.2 | 申请日: | 2021-01-06 |
公开(公告)号: | CN112853329B | 公开(公告)日: | 2022-08-16 |
发明(设计)人: | 田志斌;詹益腾;邓正平;陈维速;谢飞凤 | 申请(专利权)人: | 广州三孚新材料科技股份有限公司 |
主分类号: | C23C18/18 | 分类号: | C23C18/18;C23C18/40 |
代理公司: | 广州科沃园专利代理有限公司 44416 | 代理人: | 张帅 |
地址: | 510663 广东省广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 单晶硅 异质结 太阳能电池 化学 镀铜 方法 | ||
1.一种单晶硅异质结太阳能电池用化学镀铜方法,其特征在于,包括如下步骤:
S1将待镀件表面均匀喷涂表面处理溶液处理,保留1-2min后水洗,然后通过钯离子活化处理,再次水洗,进行还原处理,再次水洗,得到处理后的待镀件;
S2将处理后的待镀件浸于镀铜液中,浸入时间为30-50min,浸入温度为40-60℃,得到镀铜后的镀件;
S3将镀铜后的镀件表面用去离子水清洗,再以风刀吹去,最后置于60-80℃烘干;
所述步骤S1中所述表面处理溶液为含胺唑草酮和氢氟酸的水溶液,胺唑草酮的质量浓度为0.005-0.01g/L,氢氟酸的质量浓度为0.001-0.003g/L;
所述步骤S2中所述镀铜液的组成为:15-20g/L的铜盐、1-5g/L的还原剂、0.05-0.15g/L的稳定剂和20-30g/L的络合剂;所述还原剂为乙醛酸和草酸,其质量比为3:2;所述稳定剂由含氮化合物和亚铁氰化钾组成,其质量比为1:1-1.5;所述含氮化合物为2,2′-联吡啶、烟酸、异烟酸、异烟肼中的一种或多种。
2.根据权利要求1所述的单晶硅异质结太阳能电池用化学镀铜方法,其特征在于,所述步骤S1所述钯离子活化处理的方法是:将喷涂表面处理溶液后的待镀件置于离子钯活化剂中,在20-30℃的条件下处理3-6min。
3.根据权利要求1所述的单晶硅异质结太阳能电池用化学镀铜方法,其特征在于,所述铜盐选自硫酸铜、氯化铜、硝酸铜中的一种或多种。
4.根据权利要求1所述的单晶硅异质结太阳能电池用化学镀铜方法,其特征在于,所述络合剂为六亚甲基二胺、亚甲基二磷酸和柠檬酸钠的混合物,其质量比为1.5-2:0.5-1:1。
5.根据权利要求1所述的单晶硅异质结太阳能电池用化学镀铜方法,其特征在于,所述镀铜液的制备流程为,先将铜盐、络合剂、稳定剂和还原剂各自溶解在去离子水中制成相应的水溶液,随后将铜盐的水溶液先与络合剂的水溶液混合,再与其它水溶液混合,最后调节pH为12。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C18-00 通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
C23C18-02 .热分解法
C23C18-14 .辐射分解法,例如光分解、粒子辐射
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