[发明专利]装载端口单元、包括装载端口单元的储存设备和排气方法在审

专利信息
申请号: 202110003269.5 申请日: 2021-01-04
公开(公告)号: CN113078085A 公开(公告)日: 2021-07-06
发明(设计)人: 沈龙训;郑镇旭;金承沅;金石熙;黃裁熙;朴埈徹 申请(专利权)人: 细美事有限公司
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677;H01L21/673
代理公司: 北京市中伦律师事务所 11410 代理人: 钟锦舜
地址: 韩国忠*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 装载 端口 单元 包括 储存 设备 排气 方法
【权利要求书】:

1.一种用于储存对象的储存设备,所述储存设备包括:

装载端口单元,容座被装载到所述装载端口单元上或从所述装载端口单元上卸下,所述容座被配置成将所述对象容纳在由主体和盖形成的储存空间中,所述盖被配置成覆盖所述主体;

储存单元,具有所述对象被储存在其中的储存空间;

传送单元,被配置成在所述装载端口单元和所述储存单元之间传送所述对象;以及

控制器,

其中所述装载端口单元包括:

具有内部空间的壳体;

台架构件,被设置在所述壳体上,并且被配置成通过移动所述主体而打开所述储存空间,所述容座被放置在所述台架构件上;以及

排气管,被配置成使介于彼此间隔开的所述主体和所述盖之间的间隔空间进行排气,

其中所述排气管的一个端部面向所述间隔空间,并且所述排气管的相对的端部面向所述内部空间,

其中第一风扇和第二风扇被设置在所述排气管中,所述第二风扇被定位成比所述第一风扇更加远离所述排气管的所述一个端部,并且

其中所述控制器控制所述第一风扇和所述第二风扇,使得所述第二风扇在所述第一风扇被驱动之后被驱动。

2.根据权利要求1所述的储存设备,其中所述控制器控制所述第一风扇和所述第二风扇,使得所述第二风扇于所述台架构件完全移动所述主体之后被驱动。

3.根据权利要求2所述的储存设备,其中所述装载端口单元还包括被配置成检查所述对象的检查构件,并且

其中所述控制器控制所述第一风扇、所述第二风扇和所述传送单元,使得所述第二风扇于被支撑在所述主体上的所述对象被携带到所述检查构件中之后被驱动。

4.根据权利要求3所述的储存设备,其中所述控制器控制所述第一风扇和所述第二风扇,使得所述第二风扇于所述对象在所述检查构件中被彻底检查之后被驱动。

5.根据权利要求4所述的储存设备,其中所述控制器控制所述第一风扇和所述第二风扇,使得所述第二风扇于在所述检查构件中被彻底检查的所述对象被携带到所述储存单元中之后被驱动。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的储存设备,其中所述第一风扇被设置在所述排气管的所述一个端部处,并且

其中所述第二风扇被设置在所述排气管的所述一个端部和所述相对的端部之间。

7.根据权利要求1至5中任一项所述的储存设备,其中所述排气管包括:

第一部分,包括所述排气管的所述一个端部;以及

第二部分,从所述第一部分在上/下方向上延伸,并且包括所述排气管的所述相对的端部。

8.根据权利要求7所述的储存设备,其中所述第二风扇被设置在所述第二部分中。

9.一种装载端口单元,容座被装载到所述装载端口单元上或从所述装载端口单元上卸下,其中所述容座被配置成将对象容纳在由主体和盖形成的储存空间中,所述盖被配置成覆盖所述主体,所述装载端口单元包括:

具有内部空间的壳体;

台架构件,被设置在所述壳体上,并且被配置成通过移动所述主体而打开所述储存空间,所述容座被放置在所述台架构件上;以及

排气管,被配置成使介于彼此间隔开的所述主体和所述盖之间的间隔空间进行排气,

其中所述排气管的一个端部面向所述间隔空间,并且所述排气管的相对的端部面向所述内部空间,

其中第一风扇和第二风扇被设置在所述排气管中,所述第二风扇被定位成比所述第一风扇更加远离所述排气管的所述一个端部,并且

其中被配置成控制所述装载端口单元的控制器控制所述第一风扇和所述第二风扇,使得所述第一风扇于所述对象在所述内部空间中的同时被驱动。

10.根据权利要求9所述的装载端口单元,其中所述控制器控制所述第一风扇和所述第二风扇,使得所述第一风扇和所述第二风扇于所述对象被携带出所述内部空间之后被驱动。

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