[发明专利]化学放大型感光性组合物、感光性干膜及其制造方法、抗蚀剂膜的制造方法及酸扩散抑制剂

权利要求书

1.一种化学放大型正型感光性组合物，其特征在于，含有：

产酸剂(A)，通过活性光线或放射线的照射而产生酸；树脂(B)，对碱的溶解性因酸的作用而增大；酸扩散抑制剂(C)，

所述酸扩散抑制剂(C)包含以下述式(C1)表示的化合物，

[化1]

式(C1)中，

R^1c为烷基或芳烷基，

R^2c为烷基或芳烷基，

R^3c为氢原子或烷基，

R^4c为单键或亚烷基，

n1为0以上5以下的整数，

n2为0以上5以下的整数，

n3为0或1，

其中，在n3为1的情况下，n1以及n2不同时为0。

2.如权利要求1所述的化学放大型正型感光性组合物，其特征在于，

所述n3为1，所述R^4c为单键。

3.如权利要求2所述的化学放大型正型感光性组合物，其特征在于，

作为所述R^1c的所述烷基或所述芳烷基的碳原子数为6以上10以下，作为所述R^2c的所述烷基或所述芳烷基的碳原子数为6以上10以下。

4.如权利要求1所述的化学放大型正型感光性组合物，其特征在于，

所述n3为0，所述R^4c为亚烷基。

5.如权利要求1～4的任一项所述的化学放大型正型感光性组合物，其特征在于，

所述酸扩散抑制剂(C)的含量相对于树脂(B)100质量份为0.01质量份以上20质量份以下。

6.如权利要求1～5的任一项所述的化学放大型正型感光性组合物，其特征在于，

还含有碱可溶性树脂(D)。

7.如权利要求6所述的化学放大型正型感光性组合物，其特征在于，

所述碱可溶性树脂(D)包含从酚醛清漆树脂(D1)、聚羟基苯乙烯树脂(D2)以及丙烯酸树脂(D3)构成的组中选择的至少1种树脂。

8.一种感光性干膜，其特征在于，

具有基材薄膜与形成于所述基材薄膜的表面的感光性层，所述感光性层由权利要求1～7的任一项所述的化学放大型正型感光性组合物构成。

9.一种感光性干膜的制造方法，其特征在于，包括：

在基材薄膜上涂布权利要求1～7的任一项所述的化学放大型正型感光性组合物从而形成感光性层。

10.一种图案化的抗蚀剂膜的制造方法，其特征在于，包括：

层叠工序，在基板上层叠由权利要求1～7的任一项所述的化学放大型正型感光性组合物构成的感光性层；

曝光工序，对所述感光性层位置选择性地照射活性光线或放射线；与

显影工序，对曝光后的所述感光性层进行显影。

11.一种酸扩散抑制剂，掺混在包含通过活性光线或放射线的照射而产生酸的产酸剂(A)与对碱的溶解性因酸的作用而增大的树脂(B)的化学放大型正型感光性组合物中，其特征在于，

所述酸扩散抑制剂包含以下述式(C1)表示的化合物，

[化2]

式(C1)中，

R^1c为烷基或芳烷基，

R^2c为烷基或芳烷基，

R^3c为氢原子或烷基，

R^4c为单键或亚烷基，

n1为0以上5以下的整数，

n2为0以上5以下的整数，

n3为0或1，

其中，在n3为1的情况下，n1以及n2不同时为0。