[发明专利]用于保持待处理工件的移动式工件承载装置

权利要求书

1.一种工件承载装置，用于保持要安装在真空处理系统的真空室内的待处理的工件，包括：

-一个具有直径(d_X)的转台(X)，

-一个或多个具有直径(d_Ymd_X)的转台(Y_m)，其能安装在所述转台(X)上，

-一个或多个具有直径(d_Zn≤d_Ym)的工件支架Z_n，其能安装在所述一个或多个转台(Y_m)上，

-第一致动器(A1)和第二致动器(A2)，

其特征是，在所述致动器(A1)、(A2)与转台(X)和(Y_m)之间的强制连接利用传动机构按以下方式来建立，其允许该系统的至少两种工作模式，其中，

-在模式1中，致动器(A1)被提供动力而致动器(A2)未被提供动力，使得转台(X)绕其中心旋转轴线(R_x)转动，并且，

-在模式2中，致动器(A1)未被提供动力而致动器(A2)被提供动力，使得转台(Y_m)绕其中心旋转轴线(R_Ym)转动，而转台(X)原地不动。

2.根据权利要求1所述的工件承载装置，其特征是，该转台(X)基本上呈圆形，因此转台(X)的表面积由A_X＝π×(d_X/2)²限定。

3.根据权利要求1或2所述的工件承载装置，其特征是，该转台(X)和至少一个转台(Y_m)通过第三传动机构联接，从而当该工件承载装置按照模式1工作时，通过所述第三传动机构使所述至少一个转台(Y_m)处于转动运动。

4.根据前述权利要求之一所述的工件承载装置，其特征是，所述第一致动器(A1)通过第一传动机构被联接至该中心转台(X)，第二致动器(A2)通过第二传动机构被联接至所述至少一个周边转台(Y_m)。

5.根据前述权利要求之一所述的工件承载装置，其特征是，所述第一致动器(A1)和/或所述第二致动器(A2)被设计成机电式致动器，其中，通过施加控制电压至所述致动器(A1)和/或(A2)来围绕该轴(R_x)和/或(R_Ym)优选地产生转动运动。

6.根据前述权利要求之一所述的工件承载装置，其特征是，该装置能在低于1毫巴，优选低于0.1毫巴，尤其是低于0.001毫巴的压力条件下使用。

7.根据前述权利要求之一所述的工件承载装置，其特征是，该转台(X)和/或所述一个或多个转台(Y_m)和/或所述一个或多个工件支架(Z_n)是基本平面状的。

8.根据前述权利要求之一所述的工件承载装置，其特征是，所述一个或多个转台(Y_m)完全布置在第一转台(X)的区域内和/或所述一个或多个工件支架(Z_n)完全布置在所述一个或多个转台(Y_m)的区域内，其中，所述转台(Y_m)优选安装在转台(X)的周边，使得在从上方看向它时，所述转台(Y_m)和(X)的边缘重叠。

9.根据前述权利要求之一所述的工件承载装置，其特征是，所述第一致动器(A1)和/或所述第二致动器(A2)布置在所述转台(X)下方，与工件布置区域相反。

10.根据前述权利要求之一所述的工件承载装置，其特征是，旋转轴线(R_x)和(R_Ym)相互平行排齐。