[发明专利]衬底处理方法及衬底处理装置

权利要求书

1.衬底处理方法，其为在将衬底保持水平的同时使所述衬底干燥的方法，所述方法包括下述工序：

漂洗液供给工序，将含有水的漂洗液供给至所述衬底的上表面；

第1置换工序，将第1液体供给至所述衬底的上表面，由此将所述衬底的上表面上的所述漂洗液置换成所述第1液体；

第2置换工序，将第2液体供给至所述衬底的上表面，由此将所述衬底的上表面上的所述第1液体置换成所述第2液体；和

干燥工序，将所述衬底的上表面上的所述第2液体除去，由此使所述衬底干燥，

所述第2液体在水中的溶解度小于所述第1液体在水中的溶解度，

所述第2液体的表面张力低于所述第1液体的表面张力，

所述第2液体的比重大于所述第1液体的比重，

所述第2液体的沸点为室温以上，从所述第2液体的沸点减去所述室温而得的值为所述室温以下。

2.如权利要求1所述的衬底处理方法，其中，所述漂洗液供给工序包括在以漂洗液供给速度使所述衬底旋转的同时将所述漂洗液供给至所述衬底的上表面的工序，

所述第2置换工序包括在以比所述漂洗液供给速度小的第2置换速度使所述衬底旋转的同时将所述第2液体供给至所述衬底的上表面的工序。

3.如权利要求1或2所述的衬底处理方法，其中，所述第2置换工序包括下述部分置换工序：仅将所述衬底的上表面上的一部分所述第1液体置换成所述第2液体，由此，维持所述第2液体的液膜、和将所述第2液体的液膜包围的所述第1液体的液膜被保持于所述衬底的上表面的状态。

4.如权利要求1～3中任一项所述的衬底处理方法，其中，所述衬底处理方法在所述干燥工序之前还包括将所述第2液体的液膜从所述衬底的上表面排出的液体排出工序，

所述液体排出工序包括下述工序：孔形成工序，在所述第2液体的液膜上形成仅使所述衬底的上表面的一部分露出的露出孔；和孔扩大工序，将所述露出孔的外缘扩展至所述衬底的上表面的外周。

5.如权利要求4所述的衬底处理方法，其中，所述漂洗液供给工序包括在以漂洗液供给速度使所述衬底旋转的同时将所述漂洗液供给至所述衬底的上表面的工序，

所述孔扩大工序包括在以比所述漂洗液供给速度小的液体排出速度使所述衬底旋转的同时将所述露出孔的外缘扩展至所述衬底的上表面的外周的工序。

6.如权利要求4或5所述的衬底处理方法，其中，所述孔扩大工序包括在以大于0且为50rpm以下的旋转速度使所述衬底旋转的同时将所述露出孔的外缘扩展至所述衬底的上表面的外周的工序。

7.如权利要求4～6中任一项所述的衬底处理方法，其中，所述孔形成工序包括将比所述室温更高温的加热流体仅朝向所述衬底的下表面的一部分喷出的加热流体供给工序。

8.如权利要求4～6中任一项所述的衬底处理方法，其中，所述孔形成工序包括使以在俯视观察时与所述衬底重叠的方式配置于所述衬底下方的加热器发热的均匀加热工序。

9.如权利要求4～8中任一项所述的衬底处理方法，其中，所述孔形成工序包括下述扫描工序：使所述衬底绕着从所述衬底的上表面的中央部通过的铅垂的旋转轴线旋转，并且，在将所述第2液体朝向所述衬底的上表面喷出的同时，使所述第2液体与所述衬底的上表面碰撞的位置从所述衬底的上表面的中央部移动至所述衬底的上表面的外周侧。

10.如权利要求4～9中任一项所述的衬底处理方法，所述衬底处理方法包括下述防结露工序：与所述液体排出工序并行地，将所述衬底的上表面的温度维持于比所述第2液体的露点温度高的值。

11.衬底处理装置，其具备：

衬底保持单元，所述衬底保持单元将衬底保持水平；

漂洗液供给单元，所述漂洗液供给单元向被所述衬底保持单元保持的所述衬底的上表面供给含有水的漂洗液；

第1置换单元，所述第1置换单元向被所述衬底保持单元保持的所述衬底的上表面供给第1液体，由此将所述衬底的上表面上的所述漂洗液置换成所述第1液体；

第2置换单元，所述第2置换单元向被所述衬底保持单元保持的所述衬底的上表面供给第2液体，由此将所述衬底的上表面上的所述第1液体置换成所述第2液体；和

干燥单元，所述干燥单元将被所述衬底保持单元保持的所述衬底的上表面上的所述第2液体除去，由此使所述衬底干燥，

所述第2液体在水中的溶解度小于所述第1液体在水中的溶解度，

所述第2液体的表面张力低于所述第1液体的表面张力，

所述第2液体的比重大于所述第1液体的比重，

所述第2液体的沸点为室温以上，从所述第2液体的沸点减去所述室温而得的值为所述室温以下。