[发明专利]测量方法以及检查装置

说明书

本发明既可简化检查装置中所含的多个电流检测部的校准工时，又可获得准确的阻抗值。对彼此隔离的多个第一电极(51)与多个第二电极(52)之间的电极间阻抗进行测量的测量方法包含下述步骤：对多个电流检测部(4)中的一个电流检测部进行校准；使用经校准的电流检测部即第一电流检测部(4a)来测量基准样本(S)的第一基准阻抗(Z_X1)；使用多个所述电流检测部(4)来并行地测量检查对象物(50)的多个部位的对象物阻抗(Z_XM)；以及基于第一基准阻抗(Z_X1)来修正对象物阻抗(Z_XM)以算出修正后阻抗(Z_DUT)。

技术领域

本发明涉及一种测量方法以及检查装置。

背景技术

例如专利文献1所公开的检查装置在传感器面板已被拆卸的状态下，传感器面板检查装置的校正(calibration)部一边对存在多个的第二电缆中的至少任一个供给信号部的交流信号，一边在校正信号部中调整与电流计对应的交流电源的电压及相位，以使电性连接于第一电缆的电流检测部的所述电流计的输出变为零。当电流计的输出变为零时，存储此时的所述交流电源的电压及相位。在传感器面板的检查时，基于所存储的电压及相位来使校正信号部的交流电源产生交流信号。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利特开2014-238318号公报

发明内容

发明所要解决的问题

此外，专利文献1所公开的检查装置中，设有多个电流检测部(例如参照专利文献1的图1)。为了使由电流检测部检测的电流值成为准确的值，考虑对全部的电流检测部进行校准。然而，对多个电流检测部的全部进行校准耗费时间。

本发明用于解决所述课题，其目的在于，简化检查装置中所含的多个电流检测部的校准工时。

解决问题的技术手段

本发明的一实施方式的测量方法对彼此隔离地设有多个第一电极与多个第二电极的检查对象物中的所述第一电极与所述第二电极之间的电极间阻抗进行测量，所述测量方法包括下述步骤：(a)对用于测量所述电极间阻抗的多个电流检测部中的一个电流检测部进行校准；(b)选定多个所述检查对象物中的一个来作为基准样本；(c)使用在所述(a)步骤中经校准的所述电流检测部即第一电流检测部，来测量所述基准样本的所述电极间阻抗即基准阻抗以作为第一基准阻抗；(d)使用多个所述电流检测部，并行地测量所述检查对象物的多个部位的所述电极间阻抗即对象物阻抗；以及(e)基于在所述(c)步骤中测量出的所述第一基准阻抗，对在所述(d)步骤中测量出的所述对象物阻抗进行修正，以算出修正后阻抗。

根据所述方法，可使用检查装置中所含的多个电流检测部，来并行地测量检查对象物的多个部位的阻抗(对象物阻抗)。由此，可统一测量检查对象物中需要阻抗测量的大量部位中的多个部位的阻抗，因此可缩短测量时间。

另外，根据所述方法，利用使用经校准的电流检测部(第一电流检测部)所测量出的基准样本的阻抗(第一基准阻抗)，对如上述那样测量出的多个部位的对象物阻抗进行修正。因而，根据所述方法，使用可检测准确的电流值的电流检测部来测量第一基准阻抗，因此可高精度地测量用于修正对象物阻抗的第一基准阻抗。

另外，根据所述方法，可使用自大量的检查对象物中选定的检查对象物来作为基准样本。即，根据所述方法，不需要特意准备全部的测量部位的阻抗为已知的样本，因此可提供便利性优异的测量方法。

因而，根据所述方法，可简化检查装置中所含的多个电流检测部的校准工时。

优选的是，所述基准样本中，各所述第一电极与各所述第二电极未短路，且各所述第一电极及各所述第二电极未断线。