[发明专利]用于衬底的环境敏感表面的牺牲性保护层

权利要求书

1.一种用于在处理期间保护衬底的表面的方法，其包含：

a)提供溶液，所述溶液形成具有上限温度的共聚物；

b)将所述溶液分配于所述衬底的表面上，以形成牺牲保护层，

其中所述共聚物为动力学捕获的，以使得能在高于所述上限温度的温度下保存；

c)使所述衬底暴露于周围环境并持续预定时段；以及

d)通过使用选自由紫外(UV)光和热所组成的群组的刺激而使所述牺牲保护层解聚合。

2.根据权利要求1所述的方法，其中所述共聚物包含聚醛共聚物。

3.根据权利要求1所述的方法，其中所述上限温度低于室温。

4.根据权利要求1所述的方法，其还包含在将所述溶液分配于所述衬底上之前将浇铸溶剂分配于所述衬底上。

5.根据权利要求1所述的方法，其还包含在分配所述溶液之前将热催化剂添加至所述溶液。

6.根据权利要求5所述的方法，其中所述热催化剂选自由热酸产生剂和热碱产生剂组成的群组。

7.根据权利要求1所述的方法，其还包含在分配所述溶液之前将光催化剂添加至所述溶液中。

8.根据权利要求7所述的方法，其中所述光催化剂选自由光酸产生剂和光碱产生剂组成的群组。

9.根据权利要求7所述的方法，其还包含将染料添加至所述光催化剂。

10.根据权利要求1所述的方法，其中d)包含：

d1)将热催化剂分配于所述牺牲保护层上；以及

d2)将所述衬底加热至大于经催化的共聚物的降解温度且小于未经催化的共聚物的降解温度的温度。

11.根据权利要求10所述的方法，其还包含重复进行d1)和d2)一或多次直到将所述牺牲保护层移除为止。

12.根据权利要求10所述的方法，其还包含：

d3)将所述衬底加热至比所述未经催化的共聚物温度更高的温度，以将所述牺牲保护层的剩余部分移除。

13.根据权利要求10所述的方法，其中所述热催化剂选自由热酸产生剂和热碱产生剂组成的群组。

14.根据权利要求1所述的方法，其还包含：

在b)之前，在第一衬底处理工具中于所述衬底上进行第一处理工艺；

在所述第一衬底处理工具中进行a)和b)；

在第二衬底处理工具中进行d)；以及

在所述第二衬底处理工具中于所述衬底上进行第二处理工艺。

15.根据权利要求14所述的方法，其中：

所述第一处理工艺选自由沉积、蚀刻、剥离、清洁、化学机械研磨(CMP)、图案化、或所述衬底的电性质修改组成的群组；并且

所述第二处理工艺选自由沉积、蚀刻、剥离、清洁、化学机械研磨(CMP)、图案化、或所述衬底的电性质修改组成的群组。

16.一种用于在处理期间保护衬底的表面的方法，其包含：

a)提供溶液，所述溶液形成具有上限温度的共聚物；

b)将所述溶液分配于所述衬底的表面上，以形成牺牲保护层，

其中所述共聚物为动力学捕获的，以使得能在高于所述上限温度的温度下保存；

c)使所述衬底暴露于周围环境并持续预定时段；以及

d)通过使所述衬底暴露于酸性蒸气以使所述牺牲保护层解聚合。

17.根据权利要求16所述的方法，其中所述上限温度低于室温。