[发明专利]陶瓷加热器及其制法

说明书

一种陶瓷加热器(10)，具有陶瓷板(20)。外周侧电阻发热体(26)设置在陶瓷板(20)的外周侧区域(Z2)。引线(24)从在陶瓷板(20)的中央部设置的一对端子(23、23)开始分别向着外周侧区域(Z2)延伸，且靠近外周侧区域(Z2)的部分为直线部。连接端子(25)是连接引线(24)和外周侧电阻发热体(26)的导电性构件，具有插入有引线(24)的直线部的第一孔和插入有外周侧电阻发热体(26)的端部的第二孔。

技术领域

本发明涉及陶瓷加热器及其制法。

背景技术

在半导体制造装置中，采用用于加热晶片的陶瓷加热器。作为这样的陶瓷加热器，已知有所谓的双区加热器。作为这种双区加热器，已知如专利文献1中所公开那样的加热器，其在陶瓷基体中在同一平面内埋设内周侧电阻发热体和外周侧电阻发热体，通过对各电阻发热体分别独立地施加电压，从而独立地控制来自各电阻发热体的发热。专利文献1中，作为外周侧电阻发热体，例示了钼制的线圈。此外，作为从在陶瓷基体的中央部设置的一对端子开始分别至外周侧电阻发热体的端部的导电连接部，例示了钼线。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利第3897563号公报(图1～3、段落0056)

发明内容

发明要解决的课题

制作这样的陶瓷加热器时，可以考虑将通过模铸法成形的陶瓷成形体干燥后，进行脱脂预烧，然后进行热压烧成。但是，在将通过模铸法成形的陶瓷成形体进行干燥的工序中，由钼线形成的导电连接部不能追随成形体的干燥收缩而对成形体施加应力，有时成形体在干燥后破损。

本发明是为了解决这样的课题而完成的，其主要目的在于，对于从陶瓷板的中央开始向着外周延伸的引线与外周侧电阻发热体连接的陶瓷板，抑制陶瓷板的破损。

用于解决课题的方法

本发明的陶瓷加热器具备：

圆盘状的陶瓷板，其具有晶片载置面且具备环状的外周侧区域；

在上述外周侧区域设置的外周侧电阻发热体；

引线，其从在上述陶瓷板的中央部设置的一对端子开始分别向着上述外周侧区域延伸，且靠近上述外周侧区域的部分为直线部；以及

导电性的连接端子，其具有插入有上述引线的上述直线部的第一孔和插入有上述外周侧电阻发热体的端部的第二孔，并且连接上述引线与上述外周侧电阻发热体。

该陶瓷加热器中，从陶瓷板的中央部设置的一对端子开始分别向着外周侧区域延伸的引线的直线部与在外周侧区域设置的外周侧电阻发热体的端部由导电性的连接端子来连接。连接端子具有插入有引线的直线部的第一孔和插入有外周侧电阻发热体的端部的第二孔。因此，在通过模铸法制作陶瓷板时，即使引线不能追随陶瓷成形体的干燥收缩，由于引线的直线部能够在连接端子的第一孔中移动，因此不会对陶瓷成形体施加大的应力。因此，可抑制陶瓷板的破损。

本发明的陶瓷加热器中，上述第一孔与上述第二孔可以平行设置。这样的话，在陶瓷成形体干燥收缩时，引线的直线部能够在第一孔中移动，同时，外周侧电阻发热体的端部也能够在第二孔中移动，从而能够更加减轻对陶瓷成形体施加的应力。

本发明的陶瓷加热器中，也可以上述外周侧电阻发热体与上述引线设置在不同面上，上述连接端子位于设置有上述引线的面上。这样的话，能够不影响外周侧电阻发热体的图案而配置引线。

本发明的陶瓷加热器中，上述引线的上述直线部还可以贯通上述第一孔。这样的话，能够防止引线从连接端子的第一孔中脱落。

本发明的陶瓷加热器中，上述连接端子还可以是外表面不具有边缘的形状。这样的话，能够抑制以连接端子的外表面为起点而在陶瓷板产生裂纹。