[发明专利]陶瓷加热器及其制法

权利要求书

1.一种陶瓷加热器，具备：

圆盘状陶瓷板，其具有晶片载置面且具备环状的外周侧区域；

在所述外周侧区域设置的外周侧电阻发热体；

引线，其从在所述陶瓷板的中央部设置的一对端子开始分别向着所述外周侧区域延伸，且靠近所述外周侧区域的部分为直线部；以及

导电性的连接端子，其具有插入有所述引线的所述直线部的第一孔和插入有所述外周侧电阻发热体的端部的第二孔，且连接所述引线和所述外周侧电阻发热体。

2.如权利要求1所述的陶瓷加热器，其中，

所述第一孔和所述第二孔是平行设置的。

3.如权利要求1或2所述的陶瓷加热器，其中，

所述外周侧电阻发热体和所述引线设置在不同的面上，

所述连接端子位于设置有所述引线的面上。

4.如权利要求1或2所述的陶瓷加热器，其中，

所述引线的所述直线部贯通所述第一孔。

5.如权利要求1或2所述的陶瓷加热器，其中，

所述连接端子是外表面不具有边缘的形状。

6.如权利要求1或2所述的陶瓷加热器，其中，

所述连接端子是从所述陶瓷板的上下方向被压扁的形状。

7.如权利要求1或2所述的陶瓷加热器，其中，

所述外周侧电阻发热体是线圈状。

8.一种陶瓷加热器的制法，包括：

(a)通过模铸法制作圆盘状的第一陶瓷成形体的工序；

(b)在所述第一陶瓷成形体的预定面的外周侧区域配置外周侧电阻发热体，配置从在所述第一陶瓷成形体的中央部设置的一对端子位置开始分别向着所述外周侧区域延伸且靠近所述外周侧区域的部分为直线部的引线，在具有第一孔和第二孔的导电性的连接端子的所述第一孔中，具有空隙地插入所述引线的所述直线部，并在所述第二孔中插入所述外周侧电阻发热体的端部的工序；

(c)在所述第一陶瓷成形体的所述预定面上，通过模铸法制作圆盘状的第二陶瓷成形体的工序；

(d)使包含所述第一陶瓷成形体和第二陶瓷成形体的陶瓷成形体干燥而制成干燥体的工序；以及

(e)对干燥体进行热压烧成的工序。