[实用新型]一种制备碳化硅粉料的装置

权利要求书

1.一种制备碳化硅粉料的装置，其特征在于，所述装置包括：

炉体，所述炉体设置有加热装置；

电极，所述电极至少部分贯穿炉体内部，位于炉体内部的电极部分的表面至少部分覆盖有碳源，所述电极通电后用于对碳源进行加热；

坩埚，所述坩埚置于炉体内部，所述坩埚内用于放置硅源，所述电极位于坩埚的上方，所述坩埚和电极发生相对位移，以使得电极上的碳源能够接触或远离坩埚内的硅源。

2.根据权利要求1所述的制备碳化硅粉料的装置，其特征在于，所述电极包括碳源，所述碳源与外部电源连接。

3.根据权利要求1所述的制备碳化硅粉料的装置，其特征在于，所述电极包括固定件和碳源，所述碳源固定在固定件的表面，所述固定件与外部电源连接。

4.根据权利要求1所述的制备碳化硅粉料的装置，其特征在于，所述炉体的顶部设置炉盖，所述电极穿过炉盖上的通孔伸入到炉体内部；

所述电极沿坩埚的轴向延伸，

所述电极连接冷却水管道。

5.根据权利要求1所述的制备碳化硅粉料的装置，其特征在于，所述加热装置包括第一加热装置和第二加热装置，所述第一加热装置对炉体内上部进行加热，所述第二加热装置对炉体内下部进行加热。

6.根据权利要求5所述的制备碳化硅粉料的装置，其特征在于，所述加热装置选自电磁感应线圈或电阻丝。

7.根据权利要求1所述的制备碳化硅粉料的装置，其特征在于，所述炉体内部设置隔板，所述隔板关闭时，将炉体内部分隔为两部分；所述隔板打开时，所述炉体内部连通。

8.根据权利要求7所述的制备碳化硅粉料的装置，其特征在于，所述隔板沿炉体的径向延伸，所述隔板的侧壁与炉体的内侧壁相配合。

9.根据权利要求7所述的制备碳化硅粉料的装置，其特征在于，隔板为水冷隔板，所述水冷隔板具有水冷管道。

10.根据权利要求1所述的制备碳化硅粉料的装置，其特征在于，所述坩埚连接升降装置，所述升降装置用于控制坩埚上下移动；

升降装置包括支柱及由丝杠传动机构驱动的升降台，支柱的一端固定在坩埚的底部，另一端依次穿过炉体与升降台连接。