[实用新型]一种传输储存设备有效
申请号: | 202023341518.1 | 申请日: | 2020-12-30 |
公开(公告)号: | CN214203643U | 公开(公告)日: | 2021-09-14 |
发明(设计)人: | 不公告发明人 | 申请(专利权)人: | 安徽华晟新能源科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L31/18 |
代理公司: | 北京清大紫荆知识产权代理有限公司 11718 | 代理人: | 彭一波 |
地址: | 242074 安徽省宣城市宣城经*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 传输 储存 设备 | ||
1.一种传输储存设备,其特征在于:所述传输存储设备包括:
存储腔室,配置为存储目标组件;
承载装置,设置于所述存储腔室的内部,配置为承载所述目标组件;
升降装置,设置于所述存储腔室的顶部,配置为在竖直方向上带动所述承载装置进行往复运动;以及
输送装置,设置于所述存储腔室的外部,配置为在水平方向上将所述目标组件输送至所述承载装置或从所述承载装置取出所述目标组件。
2.根据权利要求1所述的传输存储设备,其特征在于:所述存储腔室为真空存储腔室,并且所述升降装置与所述承载装置以气密的形式进行连接。
3.根据权利要求1所述的传输存储设备,其特征在于:所述升降装置包括螺旋升降机以及为所述螺旋升降机提供驱动力的动力装置,所述螺旋升降机包括升降机主体、伸缩杆和波纹管,所述波纹管包括波纹部以及置于所述波纹部内部的内轴,所述伸缩杆的一端与所述升降机主体连接、另一端与所述内轴铰接,所述伸缩杆经由所述波纹管与所述承载装置连接。
4.根据权利要求3所述的传输存储设备,其特征在于:所述传输存储设备还包括直线轴承,所述直线轴承固定设置于所述存储腔室顶壁,所述波纹部套装于所述直线轴承的外部,所述内轴穿设于所述直线轴承内部并与所述承载装置的顶部连接。
5.根据权利要求3或4所述的传输存储设备,其特征在于:所述动力装置包括伺服电机。
6.根据权利要求1所述的传输存储设备,其特征在于:所述承载装置包括上板、下板和托起柱,所述托起柱配置为连接所述上板和所述下板,所述托起柱设置有卡槽以用于承载所述目标组件。
7.根据权利要求6所述的传输存储设备,其特征在于:所述上板和所述下板均为方形,所述卡槽具有斜面导向结构,所述托起柱为四个,并且四个所述托起柱被对称地设置于方形的四角。
8.根据权利要求1所述的传输存储设备,其特征在于:所述输送装置为机械手,所述机械手包括机械臂以及连接于所述机械臂活动端的置放架,所述机械臂能够伸缩运动,所述置放架用于承托所述目标组件。
9.根据权利要求8所述传输存储设备,其特征在于:所述机械臂为双连杆结构,所述双连杆结构的一端固定,另一端与所述置放架连接。
10.根据权利要求8或9所述传输存储设备,其特征在于:当所述输送装置将所述目标组件输送至所述承载装置时,所述置放架的初始高度高于所述目标组件待置放的所在所述承载装置中的高度,当所述输送装置从所述承载装置取出所述目标组件时,所述置放架的初始高度低于待取出的所述目标组件所在所述承载装置中的高度。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造