[实用新型]一种半导体检测用测试台有效

专利信息
申请号: 202023297251.0 申请日: 2020-12-31
公开(公告)号: CN215116615U 公开(公告)日: 2021-12-10
发明(设计)人: 张静;赵浩;陈博;黎载红 申请(专利权)人: 上海波汇科技有限公司
主分类号: G01R31/26 分类号: G01R31/26;G01R1/02;B25H1/12
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 201613 上海市*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 半导体 检测 测试
【说明书】:

实用新型公开了一种半导体检测用测试台,包括上检测盒和下箱体,所述上检测盒安装在下箱体的上端,所述上检测盒一侧设有凸型口,所述凸型口处安装有箱门,且箱门与上检测盒之间设有密封结构,所述测试台安装在滑动安装板上,所述滑动安装板滑动安装在固定座上,所述固定座固定安装在上检测盒内,所述上检测盒底部位于固定座两侧分别设有吸气口和输气口,所述上检测盒两侧安装有转动连接件,本实用新型通过在上检测盒上只设置一个凸型口,其他采用一体式结构,并将凸型口处的箱门处安装两组橡胶垫圈组成的密封结构,箱门关闭时,两组橡胶垫圈紧密贴合,使得箱门与上检测盒之间密封性好,整个上检测盒具有良好的密封性。

技术领域

本实用新型涉及半导体检测技术领域,具体为一种半导体检测用测试台。

背景技术

半导体(semiconductor),指常温下导电性能介于导体(conductor)与绝缘体(insulator)之间的材料。半导体在收音机、电视机以及测温上有着广泛的应用。如二极管就是采用半导体制作的器件。半导体是指一种导电性可受控制,范围可从绝缘体至导体之间的材料。今日大部分的电子产品,如计算机、移动电话或是数字录音机当中的核心单元都和半导体有着极为密切的关连。

半导体在生产出来后,需要对其进行检测,在进行高低温测试时,为了避免半导体被加热高温度时出现氧化现象,会在半导体周围填充惰性气体,但是现有的半导体检测用测试台主要为多个板体的组装,使得密封效果差,密封效果差,容易造成惰性气体外漏,使得检测环境中的惰性气体减少,出现氧化反应,为此,我们提出一种半导体检测用测试台。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种半导体检测用测试台,以解决上述背景技术中现有的半导体检测用测试台主要为多个板体的组装,使得密封效果差,密封效果差,容易造成惰性气体外漏,使得检测环境中的惰性气体减少,出现氧化反应的问题。

为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种半导体检测用测试台,包括上检测盒和下箱体,所述上检测盒安装在下箱体的上端,所述上检测盒一侧设有凸型口,所述凸型口处安装有箱门,且箱门与上检测盒之间设有密封结构,所述上检测盒内设置有测试台,所述测试台安装在滑动安装板上,所述滑动安装板滑动安装在固定座上,所述固定座固定安装在上检测盒内,所述固定座延伸至凸型口处,所述滑动安装板的一端连接箱门,所述上检测盒底部位于固定座两侧分别设有吸气口和输气口,且吸气口和输气口设置有控制阀,所述上检测盒两侧安装有转动连接件,所述转动连接件上安装有显微镜,所述上检测盒上端安装有八角台。

优选的,所述下箱体内设有惰性气体储存罐,所述惰性气体储存罐的一侧设置有干燥箱,所述干燥箱的一侧设有抽气泵。

优选的,所述惰性气体储存罐通过管道连接干燥箱,所述干燥箱的一端连接回气管道,所述抽气泵上连接抽气管道,所述抽气管道和回气管道与吸气口处的管道通过三通阀门连接,所述惰性气体储存罐的出气口连接输气泵,所述输气泵通过管道连接输气口。

优选的,所述干燥箱包括外密封箱、外螺纹筒、内螺纹筒和干燥剂,所述外密封箱的顶端设有开口,所述外密封箱两侧设有通风口,所述内螺纹筒螺纹连接在外螺纹筒内,所述外螺纹筒和内螺纹筒之间形成的腔体内填充干燥剂,所述外螺纹筒螺纹连接在外密封箱内,所述外螺纹筒和内螺纹筒采用镂空结构。

优选的,所述密封结构包括橡胶垫圈、磁铁软片和密封槽,所述密封槽开设在箱门内壁上,所述密封槽内壁安装有橡胶垫圈,所述橡胶垫圈内设置有磁铁软片,所述上检测盒侧壁位于密封槽的位置也设置有橡胶垫圈,两组橡胶垫圈之间的磁铁软片磁性相反。

优选的,所述固定座和滑动安装板之间通过滑动轨道连接,所述上检测盒内壁位于滑动安装板的尾端处设置有固定磁铁,所述固定磁铁与滑动安装板的尾端磁性吸附。

本实用新型提供了一种半导体检测用测试台,具备以下有益效果:

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