[实用新型]一种半导体检测用测试台有效

专利信息
申请号: 202023297251.0 申请日: 2020-12-31
公开(公告)号: CN215116615U 公开(公告)日: 2021-12-10
发明(设计)人: 张静;赵浩;陈博;黎载红 申请(专利权)人: 上海波汇科技有限公司
主分类号: G01R31/26 分类号: G01R31/26;G01R1/02;B25H1/12
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 201613 上海市*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 半导体 检测 测试
【权利要求书】:

1.一种半导体检测用测试台,包括上检测盒(1)和下箱体(15),其特征在于:所述上检测盒(1)安装在下箱体(15)的上端,所述上检测盒(1)一侧设有凸型口(20),所述凸型口(20)处安装有箱门(21),且箱门(21)与上检测盒(1)之间设有密封结构,所述上检测盒(1)内设置有测试台(6),所述测试台(6)安装在滑动安装板(5)上,所述滑动安装板(5)滑动安装在固定座(4)上,所述固定座(4)固定安装在上检测盒(1)内,所述固定座(4)延伸至凸型口(20)处,所述滑动安装板(5)的一端连接箱门(21),所述上检测盒(1)底部位于固定座(4)两侧分别设有吸气口(8)和输气口(18),且吸气口(8)和输气口(18)设置有控制阀(9),所述上检测盒(1)两侧安装有转动连接件(2),所述转动连接件(2)上安装有显微镜(3),所述上检测盒(1)上端安装有八角台(7)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体检测用测试台,其特征在于:所述下箱体(15)内设有惰性气体储存罐(16),所述惰性气体储存罐(16)的一侧设置有干燥箱(14),所述干燥箱(14)的一侧设有抽气泵(12)。

3.根据权利要求2所述的一种半导体检测用测试台,其特征在于:所述惰性气体储存罐(16)通过管道连接干燥箱(14),所述干燥箱(14)的一端连接回气管道(13),所述抽气泵(12)上连接抽气管道(11),所述抽气管道(11)和回气管道(13)与吸气口(8)处的管道通过三通阀门(10)连接,所述惰性气体储存罐(16)的出气口连接输气泵(17),所述输气泵(17)通过管道连接输气口(18)。

4.根据权利要求3所述的一种半导体检测用测试台,其特征在于:所述干燥箱(14)包括外密封箱(22)、外螺纹筒(23)、内螺纹筒(24)和干燥剂(25),所述外密封箱(22)的顶端设有开口,所述外密封箱(22)两侧设有通风口,所述内螺纹筒(24)螺纹连接在外螺纹筒(23)内,所述外螺纹筒(23)和内螺纹筒(24)之间形成的腔体内填充干燥剂(25),所述外螺纹筒(23)螺纹连接在外密封箱(22)内,所述外螺纹筒(23)和内螺纹筒(24)采用镂空结构。

5.根据权利要求1所述的一种半导体检测用测试台,其特征在于:所述密封结构包括橡胶垫圈(26)、磁铁软片(27)和密封槽(28),所述密封槽(28)开设在箱门(21)内壁上,所述密封槽(28)内壁安装有橡胶垫圈(26),所述橡胶垫圈(26)内设置有磁铁软片(27),所述上检测盒(1)侧壁位于密封槽(28)的位置也设置有橡胶垫圈(26),两组橡胶垫圈(26)之间的磁铁软片(27)磁性相反。

6.根据权利要求1所述的一种半导体检测用测试台,其特征在于:所述固定座(4)和滑动安装板(5)之间通过滑动轨道连接,所述上检测盒(1)内壁位于滑动安装板(5)的尾端处设置有固定磁铁(19),所述固定磁铁(19)与滑动安装板(5)的尾端磁性吸附。

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