[实用新型]用于芯片料带的密封膜压封机构有效
申请号: | 202023189970.0 | 申请日: | 2020-12-26 |
公开(公告)号: | CN213936129U | 公开(公告)日: | 2021-08-10 |
发明(设计)人: | 傅国;吴晨;李国祥 | 申请(专利权)人: | 昆山沃得福自动化设备有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 北京国坤专利代理事务所(普通合伙) 11491 | 代理人: | 王峰刚 |
地址: | 215300 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 芯片 密封 膜压封 机构 | ||
1.用于芯片料带的密封膜压封机构,其特征在于:
包括驱动主轴部和辅助压接部,
所述驱动主轴部包括旋转主轴及设置在所述旋转主轴上的主动支撑盘和辅助支撑盘,所述旋转主轴的一端设有旋转驱动源、另一端设有手动调节旋钮部,
所述主动支撑盘的外周面上设有驱动齿带及位于所述驱动齿带两侧的封合支撑面;
所述辅助压接部包括载架主体,所述载架主体上设有用于与所述主动支撑盘相浮动压接配合的主动压接盘、用于与所述辅助支撑盘相浮动压接配合的辅助压接盘,
所述主动压接盘上设有用于避让所述驱动齿带的避让环凹及与所述封合支撑面一一对应配合的封合压接面。
2.根据权利要求1所述用于芯片料带的密封膜压封机构,其特征在于:
所述载架主体包括两个相间隔设置的立架,任意所述立架上设有枢轴摇臂,所述枢轴摇臂的一端设有配接轴、另一端与所述立架之间设有弹性元件。
3.根据权利要求2所述用于芯片料带的密封膜压封机构,其特征在于:
所述主动支撑盘和辅助支撑盘分别设置在两个所述立架上,两个所述立架之间具备相对调节位移。
4.根据权利要求1所述用于芯片料带的密封膜压封机构,其特征在于:
所述旋转驱动源包括设置在所述旋转主轴上的传动盘和用于传动盘与旋转源相传动配合的传动带。
5.根据权利要求1所述用于芯片料带的密封膜压封机构,其特征在于:
所述旋转主轴具备张力控制器。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造