[实用新型]一种半片花篮结构有效
| 申请号: | 202022907608.6 | 申请日: | 2020-12-06 |
| 公开(公告)号: | CN213340312U | 公开(公告)日: | 2021-06-01 |
| 发明(设计)人: | 孟岭 | 申请(专利权)人: | 无锡市世通模塑有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673;H01L21/677 |
| 代理公司: | 连云港联创专利代理事务所(特殊普通合伙) 32330 | 代理人: | 谷金颖 |
| 地址: | 214000 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 花篮 结构 | ||
本实用新型公开了一种半片花篮结构,包括第一花篮端板与第二花篮端板,所述第一花篮端板与第二花篮端板的内壁上均开设有槽板安装孔,且槽板的两端分别安装于第一花篮端板与第二花篮端板的槽板安装孔内,所述槽板上铺设有齿杆,所述第一花篮端板与第二花篮端板的下侧通过底杆相连接,所述齿杆之间可装载硅片,且该齿杆之间的间距可调整;本实用新型所述的半片花篮结构,可增加齿杆,从而增加硅片的可承载数量,减少生产过程中的硅片花篮替换时间,提高生产效率。
技术领域
本实用新型涉及花篮领域,具体为一种半片花篮结构。
背景技术
花篮是一种广泛应用于太阳能电池、IC芯片、LED芯片等半导体制造领域的生产制具,花篮主要用于晶片的存放、蚀刻、搬运等,花篮主要包含方形花篮和圆形花篮;
而目前没有这种类型的花篮,客户的可选性较少,同时传统的花篮最多承载100片硅片,可承载数量有限,为此,提出一种半片花篮结构。
实用新型内容
针对现有技术的不足,本实用新型提供了一种半片花篮结构,本实用新型提供如下技术方案:包括第一花篮端板与第二花篮端板,所述第一花篮端板与第二花篮端板的内壁上均开设有槽板安装孔,且槽板的两端分别安装于第一花篮端板与第二花篮端板的槽板安装孔内,所述槽板上铺设有齿杆,所述第一花篮端板与第二花篮端板的下侧通过底杆相连接,所述齿杆之间可装载硅片,且该齿杆之间的间距可调整。
优选的,所述底杆共设置有两个。
优选的,所述底杆的横截面为圆形。
优选的,所述槽板安装孔共设置有八个,且其中四个开设于第一花篮端板的内壁,另外四个开设于第二花篮端板的内壁。
优选的,所述第一花篮端板与第二花篮端板的规格大小一致。
优选的,所述槽板安装孔的横截面为圆形,且每个槽板安装孔的规格大小一致。
与现有技术对比,本实用新型具备以下有益效果:该一种半片花篮结构,可增加齿杆,从而增加硅片的可承载数量,减少生产过程中的硅片花篮替换时间,提高生产效率。
附图说明
图1为本实用新型半片花篮结构的整体结构示意图;
图2为本实用新型第一花篮端板的结构示意图;
图3为本实用新型第二花篮端板的结构示意图;
图4为本实用新型半片花篮结构的俯视图;
图中:1、第一花篮端板;2、第二花篮端板;3、槽板;4、底杆;5、齿杆;6、硅片;7、槽板安装孔。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-4,一种半片花篮结构,包括第一花篮端板1与第二花篮端板2,所述第一花篮端板1与第二花篮端板2的内壁上均开设有槽板安装孔7,且槽板3的两端分别安装于第一花篮端板1与第二花篮端板2的槽板安装孔7内,所述槽板3上铺设有齿杆5,所述第一花篮端板1与第二花篮端板2的下侧通过底杆4相连接,所述齿杆5之间可装载硅片6,且该齿杆5之间的间距可调整。
底杆4共设置有两个。
底杆4的横截面为圆形。
槽板安装孔7共设置有八个,且其中四个开设于第一花篮端板1的内壁,另外四个开设于第二花篮端板2的内壁。
第一花篮端板1与第二花篮端板2的规格大小一致。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





