[实用新型]一种晶粒多吸头吸取装置

权利要求书

1.一种晶粒多吸头吸取装置，其特征在于：其包括支撑座（1），所述支撑座（1）上设置有真空发生器（2）、光学定位模块（3）及若干个吸取模块（4），若干个所述吸取模块（4）均与所述真空发生器（2）相配合。

2.根据权利要求1所述的一种晶粒多吸头吸取装置，其特征在于：所述吸取模块（4）包括安装座（5），所述安装座（5）上设置有电机（6）及滑轨（7），所述滑轨（7）上滑动配合有真空吸嘴组件（8），所述电机（6）驱动所述真空吸嘴组件（8）在所述滑轨（7）上滑动，所述真空吸嘴组件（8）通过真空吸杆（9）与所述真空发生器（2）相配合。

3.根据权利要求2所述的一种晶粒多吸头吸取装置，其特征在于：所述电机（6）通过滚珠丝杆（10）驱动所述真空吸嘴组件（8）。

4.根据权利要求2或3所述的一种晶粒多吸头吸取装置，其特征在于：所述电机（6）为伺服电机。

5.根据权利要求1所述的一种晶粒多吸头吸取装置，其特征在于：所述吸取模块（4）的数量为六个。

6.根据权利要求1所述的一种晶粒多吸头吸取装置，其特征在于：所述支撑座（1）上还设置有驱动模块（11），所述驱动模块（11）包括驱动座（12），所述驱动座（12）上设置有动子（13）、读数头（14）及若干个滑块（15）。

7.根据权利要求1所述的一种晶粒多吸头吸取装置，其特征在于：所述光学定位模块（3）包括相机（16）及环形光源（17），所述相机（16）上配合设置有远心镜头（18），所述环形光源（17）上配合设置有同轴光源（19），所述同轴光源（19）位于所述远心镜头（18）的下方。