[实用新型]一种多功能的键合检查机有效
| 申请号: | 202022852696.4 | 申请日: | 2020-12-02 |
| 公开(公告)号: | CN213816080U | 公开(公告)日: | 2021-07-27 |
| 发明(设计)人: | 钟金鹏 | 申请(专利权)人: | 苏州殷迪新科技有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;B08B15/04 |
| 代理公司: | 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257 | 代理人: | 朱振德 |
| 地址: | 215000 江苏省苏州市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 多功能 检查 | ||
1.一种多功能的键合检查机,包括底块(2),其特征在于:所述底块(2)内开设有空腔(21),所述空腔(21)内壁固定有横杆(22),所述横杆(22)上滑动连接有滑动块(23),所述滑动块(23)的上下两端滑动连接于空腔(21)的内壁,所述滑动块(23)的外侧设有推动柄(24),所述推动柄(24)的另一端穿出底块(2)且推动柄(24)的外侧滑动连接于底块(2)内壁,所述滑动块(23)的上端固定有连接块(25),所述连接块(25)的上端穿过底块(2)与放置块(26)连接,所述放置块(26)的下端滑动连接于放置块(26)的上表面,所述底块(2)的后侧上端设有键合检查机本体(4)。
2.根据权利要求1所述的一种多功能的键合检查机,其特征在于:所述底块(2)的下端设有支腿(11)。
3.根据权利要求1所述的一种多功能的键合检查机,其特征在于:所述底块(2)内开设有第一下水通道(31)。
4.根据权利要求3所述的一种多功能的键合检查机,其特征在于:所述第一下水通道(31)的下端设有集水槽(32)。
5.根据权利要求4所述的一种多功能的键合检查机,其特征在于:所述集水槽(32)的另一侧上端设有第二下水通道(33)。
6.根据权利要求5所述的一种多功能的键合检查机,其特征在于:所述第二下水通道(33)与空腔(21)连通,所述集水槽(32)的下端设有下水管(34)。
7.根据权利要求6所述的一种多功能的键合检查机,其特征在于:所述底块(2)内开设有凹槽(35),所述下水管(34)的下端穿入凹槽(35)内。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





