[实用新型]一种键合治具

权利要求书

1.一种键合治具，其特征在于包括：底座和定位装置；

所述底座上开设有凹槽，所述定位装置嵌设在所述凹槽内部，所述凹槽在所述底座表面上呈圆周分布，所述底座表面中心处放置有待键合的晶圆基底，若干所述凹槽内部的所述定位装置将晶圆基底固定，所述定位装置上与所述晶圆基底边缘接触的压板能够沿所述凹槽的中心线方向前后伸缩。

2.根据权利要求1所述的一种键合治具，其特征在于：所述凹槽一端指向所述底座中心处，所述凹槽另一端指向所述底座边缘；

所述定位装置包括主滑块，所述主滑块嵌入所述凹槽内部，所述主滑块上端设有限位块，所述限位块靠近晶圆基底的一面通过弹性伸缩部件与所述压板连接，所述压板能够在垂直于所述限位块的方向上前后伸缩。

3.根据权利要求2所述的一种键合治具，其特征在于：所述凹槽较长的两边对称设有若干缺口，所述主滑块两端对称设有与所述缺口相匹配的弹性块，所述弹性块与所述主滑块内部之间通过弹簧连接，弹簧为压缩状态时所述弹性块能够嵌入到所述主滑块内部，所述主滑块与所述凹槽滑动连接。

4.根据权利要求3所述的一种键合治具，其特征在于：所述弹性块上表面高于所述底座上表面。

5.根据权利要求1所述的一种键合治具，其特征在于：所述压板接触晶圆基底边缘的一面为平面或是与晶圆基底边缘相匹配的弧形面，其中至少一个所述压板为平面。

6.根据权利要求1所述的一种键合治具，其特征在于：所述底座上表面还包括有若干定位孔。

7.根据权利要求1所述的一种键合治具，其特征在于：所述压板材质为耐高温的石墨材料。