[实用新型]半导体设备的陶瓷部件高温烘烤用莫来石耐高温治具有效
| 申请号： | 202022609406.3 | 申请日： | 2020-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN213841712U | 公开（公告）日： | 2021-07-30 |
| 发明（设计）人： | 黄勤兰;贺贤汉;王成明;蒋立峰 | 申请（专利权）人： | 上海富乐德智能科技发展有限公司 |
| 主分类号： | F26B25/18 | 分类号： | F26B25/18;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海申浩律师事务所 31280 | 代理人： | 陆叶 |
| 地址： | 200444 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 半导体设备 陶瓷 部件 高温 烘烤 用莫来石 耐高温 | ||
1.半导体设备的陶瓷部件高温烘烤用莫来石耐高温治具，其特征在于，包括至少三个等间隔角度排布的支撑块；
每个支撑块的外侧呈阶梯状，所述支撑块包括至少三个从上至下排布的支撑面，且每个支撑面均相互平行，位于上方的支撑面的纵向投影位于下方的支撑面纵向投影的内侧；
所述支撑块的材质是莫来石。
2.根据权利要求1所述的半导体设备的陶瓷部件高温烘烤用莫来石耐高温治具，其特征在于：所述支撑块设有三个。
3.根据权利要求1所述的半导体设备的陶瓷部件高温烘烤用莫来石耐高温治具，其特征在于：还包括一支撑板，所述支撑板的材质是莫来石；
所述支撑板设有等间隔角度排布的安装柱；
所述支撑块上设有与所述安装柱纵向插接的插孔。
4.根据权利要求3所述的半导体设备的陶瓷部件高温烘烤用莫来石耐高温治具，其特征在于：所述安装柱的横截面面积呈多边形。
5.根据权利要求1所述的半导体设备的陶瓷部件高温烘烤用莫来石耐高温治具，其特征在于：还包括一支撑板，所述支撑板的材质是莫来石；
所述支撑块与所述支撑板径向上滑动连接；
所述支撑板上设有用于支撑块径向滑动时定位的定位标识线。
6.根据权利要求5所述的半导体设备的陶瓷部件高温烘烤用莫来石耐高温治具，其特征在于：所述定位标识线是与支撑块的个数相匹配的刻度线，所述刻度线与所述支撑块一一对应，且相邻设置；
所述刻度线的长度方向与所述支撑块的长度方向相互平行。
7.根据权利要求1所述的半导体设备的陶瓷部件高温烘烤用莫来石耐高温治具，其特征在于：还包括一支撑板，所述支撑板的中央与一转轴转动连接；
所述支撑块与所述支撑板径向上滑动连接；
所述支撑块与第一连杆的一端铰接，所述第一连杆的另一端与第二连杆的一端铰接，所述第二连杆的另一端固定在所述转轴的外围；
所述转轴的纵向高度低于所述支撑块的高度。
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