[实用新型]推舟装置以及推舟系统

说明书

本实用新型公开了推舟装置以及推舟系统，其中推舟装置，用于将载片舟推入炉管设备的多个炉管内或者从所述炉管内推出，包括：第一机架；第一搬送部，安装到所述第一机架，可沿Z轴方向驱动；至少一个第二搬送部，安装到所述第一搬送部并被所述第一搬送部驱动，所述第二搬送部可沿垂直于Z轴方向的X轴方向驱动；至少一个第一承载部，用于承载所述载片舟，安装到所述第二搬送部并被所述第二搬送部搬运，以将所述载片舟推入所述炉管内或者从所述炉管内推出。根据本实用新型的推舟装置，能够提高推舟装置的使用效率，并降低推舟系统的成本。

技术领域

本实用新型涉及但不限于光伏电池制造技术领域，尤其涉及推舟装置以及推舟系统。

背景技术

光伏发电普遍被认为是一种极具发展前景的产业。太阳能光伏电池(以下简称光伏电池)是一种将太阳能转化为电能的电池，是光伏发电的核心部件之一。在光伏电池的制造过程中，炉管设备是核心设备之一。炉管设备包括扩散炉、氧化炉、退火炉、 PECVD以及LPCVD等，广泛作为光伏电池的扩散、氧化、退火以及沉积等制程的反应室而使用。

在载片舟的推舟系统(上下料)中，炉管设备通常通过推舟装置对载片舟进行上下料，推舟装置将载片舟推进炉管设备的炉管中或者从炉管中取出。已知的炉管设备的推舟系统中，炉管设备的炉管和推舟装置通常是一一对应的关系，即一个推舟装置对应一个炉管，一台设备有几个炉管，则对应几个推舟装置，成本非常高昂。此外，载片舟在炉管内的时间远长于推舟装置动作的时间，在载片舟在反应室内进行工艺时，推舟装置处于待机状态，使用效率极低，也导致成本的浪费。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决已知技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型提出了一种推舟装置，能够提高推舟装置的使用效率，并降低推舟系统的成本。此外，本实用新型还提出了使用该推舟装置的推舟系统。

根据本实用新型第一方面实施例的推舟装置，用于将载片舟推入炉管设备的多个炉管内或者从所述炉管内推出，包括：第一机架；第一搬送部，安装到所述第一机架，可沿Z轴方向驱动；至少一个第二搬送部，安装到所述第一搬送部并被所述第一搬送部驱动，所述第二搬送部可沿垂直于Z轴方向的X轴方向驱动；至少一个第一承载部，用于承载所述载片舟，安装到所述第二搬送部并被所述第二搬送部搬运，以将所述载片舟推入所述炉管内或者从所述炉管内推出。

根据第一方面实施例的推舟装置，至少具有如下有益效果：由于设置了可沿Z轴方向驱动的第一搬送部，因此能够沿Z轴方向驱动装载了用于承载载片舟的第一承载部的第二搬送部，能够实现通过一个推舟装置对应多个炉管，能够提高推舟装置的使用效率，并降低推舟系统的成本。

在一些实施例中，所述第二搬送部包括两个，分别安装到所述第一搬送部；所述第一承载部包括两个，分别安装到两个所述第二搬送部。

在一些实施例中，所述第一搬送部包括一个第一驱动部和两个沿Z轴方向导向的第一导向部，两个所述第一导向部分别安装到所述第一机架Y轴方向的两侧；两个所述第二搬送部分别安装到两个所述第一导向部，并分别和所述第一驱动部连接。

在一些实施例中，还包括第一连接部，所述第一连接部分别连接两个所述第二搬送部，并和所述第一驱动部连接。

在一些实施例中，所述第二搬送部包括第二驱动部和第二导向部，所述第二导向部沿X轴方向导向，所述第一承载部安装到所述第二导向部，并和所述第二驱动部连接。

在一些实施例中，两个所述第二搬送部包括两个第二导向部，两个所述第二导向部分别沿X轴方向导向，两个所述第一承载部分别安装到两个所述第二导向部；两个所述第二搬送部包括一个第二驱动部，两个所述第一承载部分别和所述第二驱动部连接。

在一些实施例中，还包括第三搬送部，所述第三搬送部可沿分别垂直于Z轴方向和X轴方向的Y轴方向驱动，所述第一机架安装到所述第三搬送部。