[实用新型]一种用于MPCVD设备的水冷却装置

权利要求书

1.一种用于MPCVD设备的水冷却装置，包括水冷箱(1)和顶盖板(2)，其特征在于：所述顶盖板(2)设置在所述水冷箱(1)顶部，所述顶盖板(2)上设置有通口，所述通口内熔接有容放框(3)，所述水冷箱(1)内由上而下依次设置有冷却槽(4)、安装腔和制冷腔(5)，所述容放框(3)设置在所述冷却槽(4)内，所述安装腔的内上通过螺栓安装有离心泵(6)，所述离心泵(6)通过水管分别与所述冷却槽(4)和所述制冷腔(5)连接，所述制冷腔(5)的内壁上安装有制冷板(7)，所述水冷箱(1)上设置有接线插头和开关组(8)，所述接线插头通过电线与所述开关组(8)连接，所述开关组(8)通过电线分别与所述离心泵(6)和所述制冷板(7)连接。

2.根据权利要求1所述的一种用于MPCVD设备的水冷却装置，其特征在于：所述冷却槽(4)与所述制冷腔(5)之间熔接有回流管(9)。

3.根据权利要求1所述的一种用于MPCVD设备的水冷却装置，其特征在于：所述顶盖板(2)底部熔接有密封块(10)，所述密封块(10)卡设在所述冷却槽(4)内。

4.根据权利要求3所述的一种用于MPCVD设备的水冷却装置，其特征在于：所述密封块(10)两侧均设置有卡孔(11)，所述卡孔(11)内卡设有卡杆(12)。

5.根据权利要求4所述的一种用于MPCVD设备的水冷却装置，其特征在于：所述冷却槽(4)的两侧内壁内部均设置有容置腔，所述容置腔内卡设有移动片(13)，所述容置腔与所述冷却槽(4)之间设置有连接槽一，所述卡杆(12)一端穿过所述连接槽一熔接在所述移动片(13)一侧。

6.根据权利要求5所述的一种用于MPCVD设备的水冷却装置，其特征在于：所述容置腔一侧设置有连接槽二，所述水冷箱(1)两侧均设置有把手(14)，所述把手(14)与所述移动片(13)之间熔接有拉杆(15)，所述拉杆(15)卡设在所述连接槽二内。

7.根据权利要求6所述的一种用于MPCVD设备的水冷却装置，其特征在于：所述移动片(13)与所述容置腔的内壁之间熔接有弹簧(16)。