[实用新型]微机电传感器

说明书

公开了一种微机电传感器，微机电传感器包括：埋层，包括多个第一增高区域；位于埋层上的多个检测电极和多个布线电极，多个检测电极分别覆盖多个第一增高区域；位于多个检测电极和多个布线电极上方的扭摆臂，扭摆臂、多个检测电极和多个布线电极互不接触；位于扭摆臂上方的扭摆和多个可动扭摆块，多个可动扭摆块通过扭摆臂与扭摆连接，多个可动扭摆块和扭摆臂形成可动结构；位于扭摆臂上方的多个固定电极；位于埋层上支撑壁，位于支撑壁上的保护壁，支撑壁和保护壁围成空腔，可动结构、扭摆、多个检测电极、多个布线电极和多个固定电极位于空腔中。本实用新型实施例提高了微机电传感器的灵敏度，改善了可动结构在冲击下断裂的问题。

技术领域

本实用新型涉及MEMS技术领域，特别涉及一种微机电传感器。

背景技术

微机电传感器（MEMS传感器）自问世以来，以其体积小、成本低、可靠性高、功耗低、抗恶劣环境能力强、易集成等优点受到了广泛的关注。其中，MEMS Z轴加速度计的敏感结构是扭摆式加速度计。现有的扭摆式加速度计提高灵敏度的方法主要是增大加速度计面积，使得在机械灵敏度小的情况下可以通过增加面积来提高加速度计的灵敏度。但是增大扭摆式加速度计的面积，提高了制造成本。此外，在扭摆式加速度计工作时突然的过负载使得加速度计的可动结构在垂直方向偏移，可动结构可能在冲击下发生断裂现象。因此亟需提供一种微机电传感器，在不增大微机电传感器的面积的同时提高微机电传感器的灵敏度，同时，改善在微机电传感器的可动结构在冲击下断裂的问题。

发明内容

鉴于上述问题，本实用新型的目的在于提供一种微机电传感器，在不增大微机电传感器的面积的同时提高了微机电传感器的灵敏度，并且改善了微机电传感器的可动结构在冲击下断裂的问题。

根据本实用新型实施例的第一方面，提供一种微机电传感器，包括：

衬底；

埋层，位于所述衬底上，所述埋层包括多个第一增高区域，所述埋层上设置有多个检测电极和多个布线电极，所述多个检测电极分别覆盖所述多个第一增高区域；

扭摆臂，所述扭摆臂位于所述多个检测电极和所述多个布线电极上方，所述扭摆臂与所述多个检测电极和多个布线电极互不接触；

扭摆和多个可动扭摆块，所述扭摆和所述多个可动扭摆块位于所述扭摆臂上方，所述多个可动扭摆块通过所述扭摆臂与所述扭摆连接，所述多个可动扭摆块和所述扭摆臂形成可动结构；

多个固定电极，所述多个固定电极位于所述扭摆臂上方；

支撑壁和保护壁，所述支撑壁位于所述埋层上，所述保护壁位于所述支撑壁上，所述支撑壁和所述保护壁围成空腔，所述可动结构、所述扭摆、所述多个检测电极、所述多个布线电极和所述多个固定电极位于所述空腔中。

可选地，所述扭摆臂包括：第一制动结构，所述第一制动结构为所述可动结构提供左右方向的制动。

可选地，所述扭摆臂包括：第一制动结构，所述第一制动结构为所述可动结构提供向上方向的制动。

可选地，所述扭摆臂包括：第一制动结构，所述第一制动结构为所述可动结构提供左右方向和向上方向的制动。

可选地，所述微机电传感器还包括：

位于所述衬底上的第二制动结构，所述第二制动结构为所述可动结构提供向下方向的制动。

可选地，所述扭摆臂包括：第一制动结构，所述微机电传感器还包括：位于所述衬底上的第二制动结构，

所述第一制动结构和第二制动结构为所述可动结构提供上下左右方向的制动。

可选地，所述第一制动结构包括：位于所述扭摆臂的第一端的第一制动弹簧和位于所述扭摆臂的第二端的第二制动弹簧。