[实用新型]微机电传感器

权利要求书

1.一种微机电传感器，其特征在于，包括：

衬底；

埋层，位于所述衬底上，所述埋层包括多个第一增高区域，所述埋层上设置有多个检测电极和多个布线电极，所述多个检测电极分别覆盖所述多个第一增高区域；

扭摆臂，所述扭摆臂位于所述多个检测电极和所述多个布线电极上方，所述扭摆臂与所述多个检测电极和多个布线电极互不接触；

扭摆和多个可动扭摆块，所述扭摆和所述多个可动扭摆块位于所述扭摆臂上方，所述多个可动扭摆块通过所述扭摆臂与所述扭摆连接，所述多个可动扭摆块和所述扭摆臂形成可动结构；

多个固定电极，所述多个固定电极位于所述扭摆臂上方；

支撑壁和保护壁，所述支撑壁位于所述埋层上，所述保护壁位于所述支撑壁上，所述支撑壁和所述保护壁围成空腔，所述可动结构、所述扭摆、所述多个检测电极、所述多个布线电极和所述多个固定电极位于所述空腔中。

2.根据权利要求1所述的微机电传感器，其特征在于，所述扭摆臂包括：第一制动结构，所述第一制动结构为所述可动结构提供左右方向的制动。

3.根据权利要求1所述的微机电传感器，其特征在于，所述扭摆臂包括：第一制动结构，所述第一制动结构为所述可动结构提供向上方向的制动。

4.根据权利要求1所述的微机电传感器，其特征在于，所述扭摆臂包括：第一制动结构，所述第一制动结构为所述可动结构提供左右方向和向上方向的制动。

5.根据权利要求1所述的微机电传感器，其特征在于，所述微机电传感器还包括：

位于所述衬底上的第二制动结构，所述第二制动结构为所述可动结构提供向下方向的制动。

6.根据权利要求1所述的微机电传感器，其特征在于，所述扭摆臂包括：第一制动结构，所述微机电传感器还包括：位于所述衬底上的第二制动结构，

所述第一制动结构和第二制动结构为所述可动结构提供上下左右方向的制动。

7.根据权利要求2、3、4和6中任一项所述的微机电传感器，其特征在于，所述第一制动结构包括：位于所述扭摆臂的第一端的第一制动弹簧和位于所述扭摆臂的第二端的第二制动弹簧。

8.根据权利要求5或6所述的微机电传感器，其特征在于，所述埋层还包括：多个第一凸起，所述多个布线电极分别覆盖所述多个第一凸起。

9.根据权利要求8所述的微机电传感器，其特征在于，所述微机电传感器还包括：位于所述衬底上的多个第二凸起，所述多个第一凸起分别覆盖所述多个第二凸起。

10.根据权利要求9所述的微机电传感器，其特征在于，所述第二制动结构包括：多个凸起结构，所述多个凸起结构包括所述多个第二凸起、与所述多个第二凸起对应的所述多个第一凸起和所述多个布线电极。

11.根据权利要求1所述的微机电传感器，其特征在于，所述微机电传感器还包括：位于所述衬底上的多个第二增高区域，所述多个第一增高区域分别覆盖所述多个第二增高区域。

12.根据权利要求1所述的微机电传感器，其特征在于，所述多个检测电极包括：第一检测电极和第二检测电极，所述多个固定电极包括：位于所述扭摆的两侧的第一固定电极和第二固定电极，

所述第一检测电极和所述第二检测电极分别与所述扭摆臂形成差动电容，所述第一固定电极和所述第二固定电极分别与所述扭摆臂形成差动电容。

13.根据权利要求1所述的微机电传感器，其特征在于，所述多个可动扭摆块包括：位于所述扭摆的两侧的第一可动扭摆块和第二可动扭摆块，所述第一可动扭摆块和所述第二可动扭摆块的质量不等。

14.根据权利要求13所述的微机电传感器，其特征在于，所述第一可动扭摆块包括多个子可动扭摆块。